ECCVD法制备单壁碳纳米管.pdf

材料与结构 MmedalsandStructures ECCVD法制备单壁碳纳米管 王茂发，，潘志安1，邹小平2，程进2，袁 静1，杨秋格1，欧阳群波1 (1．防灾科技学院灾害信息工程系，北京101601； 2．北京信息科技大学传感器中心，北京100101) 摘要：采用催化化学气相沉积法，以乙醇作为碳源，二茂铁为催化剂前驱体，高纯度的N：和 3％H：／Ar为载气，在反应温度850℃下，制备出了高质量的单壁碳纳米管。采用该方法制备单 壁碳纳米管。具有反应温度相对较低以及碳源(液态乙醇)丰富、廉价的优点。分别采用SEM， TEM和喇曼光谱等手段对制备出的样品进行了微观结构表征，并对表征结果进行分析计算。结 果表明单壁碳纳米管集结成束状，直径约为1．2nm，其直径分布范围较窄，缺陷较少，产量相 对丰富。 关键词：催化化学气相沉积(ECCVD)；单壁碳纳米管；二茂铁；膜状产物；低温 中图分类号：TB383文献标识码：A文章编号：1671—4776(2012)07-0462-05 CarbonNanotubes ECCVD Single-Walled Synthesizedby Jin2，Yuan Qunb01 Maofa’，PanZhian’，Zou Jin91，YangQiugel，Ouyang Wang Xiaopin92，Cheng Disaster Prevention，Beijing (1．DepartraentofInformationTechnology，Instituteof Sensor Scienceand 100101·China) Center Information TechnologyUniversity，Beijing yor Technology。Beijing ferroceneas theethanolascarbonsource，the catalyst pureN2 Abstract：With precursor，high carbon and ascarrier single-walled 3％H2／Ar gas，thehigh—quality ethanol chemical thereaction synthesizedby catalytic vapordeposition(ECCVD)attemperature methodhas ofthe lowreaction and of850℃．The relatively temperature preparation advantages carbon ethan01)．The werecharacterized theabundantand source(1iquid preparedsamples cheap SEM。TEMandRaman