P掺杂类金刚石薄膜的制备及生物学行为研究.pdf

2204 功 能 材 料 2004 年增刊（35 ）卷 P掺杂类金刚石薄膜的制备及生物学行为研究* ∗ 王 进，杨 萍，陈俊英，冷永祥，万国江，孙 鸿，赵安莎，黄 楠 (西南交通大学 材料先进技术教育部重点实验室，四川省人工器官表面工程重点实验室，四川 成都 610031) 摘 要：应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成 设备，乙炔作为气体源，在 Si （100）表面合成。然 了磷掺杂的类金刚石（diamond like carbon ，DLC ） 后将红磷蒸气通入真空室，利用射频辉光放电产生P 薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC 等离子体，在基底负偏压作用下，P 离子定向移动， 薄膜表层，P 的掺杂增加了 DLC 薄膜的无序性，俄 注入DLC 薄膜表面，基底偏压-10kV，脉冲频率50Hz， 歇能谱表明岛型区域是由 P 、C 、O 三种元素形成的 脉宽 1.2µs，注入时间 60min ，样品标记为 P-doped 化合物。掺杂表面表现出强烈的亲水性（水接触角为 DLC 。采用拉曼光谱仪、俄歇电子能谱仪和原子力显 16.9°），体外血小板粘附实验结果显示，P 掺杂DLC 微镜(AFM) 以及接触角测定仪分析薄膜的表面结构、 薄膜表面粘附的血小板少且变形小，表现出的血液相 成分、形貌和表面能性质。血小板粘附实验体外评价 容性优于热解碳和未改性DLC 。 薄膜的血液相容性，将低温各向同性热解碳（low 关键词：类金刚石；磷掺杂；等离子体浸没离子注入 temperature isotropic carbon, LTIC ）作为对照材料。 与沉积；血液相容性 中图分类号：TB324 ；TB34 文献标识码：A 3 结果与讨论 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-2204-03 AFM结果（图 1）显示DLC薄膜中存在微米级的 1 引 言 岛状结构。图 2 拉曼图谱中P-doped DLC和未掺杂 DLC 薄膜均可采用 Lorentz-Gaussian 拟合在 类金刚石薄膜是一类具有良好力学、摩擦学和生 1520~1530cm-1 -1 和 1350 cm 得到两个峰，它们分属于 物学性能的无机薄膜材料。在生物医学领域，DLC薄 类金刚石薄膜中的D-band和G-band 。相对于未掺杂 膜被应用于人工关节及心血管植入器械的表面改性， DLC薄膜，P-doped DLC薄膜的半峰宽增加，其G带 以获得高硬度、低摩擦系数和优良血液相容性的材料 略向低场移动，这表明P 的掺杂，使碳膜的无序结构 表面。不同元素掺杂DLC薄膜的合成，可以在更宽的 增加，即SP2 3 /SP 的比值增大。 范围调节DLC 的材料学性质，拓展薄膜的功能性应 用。我们在以前的研究中，制备了氢、氮元素掺杂的 DLC薄膜[1] ，其表现出良好的血液相容性。等离子体 浸没离子注入与沉积 (plasma immersion ion implantation ，PIII-D)技术综合了等离子沉积和高能离 子注入两个过程，对样品实现全方位、非视线性的表 面处理，能够改变材料表面一定深度（几埃到几千埃） 范围的化学成分、结构和性质。本文通PIII-D方法合 图1