Wolter-I型掠入射反射镜的加工.pdf

第19卷第4期 光 V01．19 学精密工程 No．4 andPrecision 2011年4月 Optics Engineering Apr．2011 文章编号1004—924X(2011)04—0743—11 Wolter—I型掠入射反射镜的加工 王永刚1’2，崔天刚1’2，马文生1，陈斌1，陈 波1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：针对Wolter-I型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构，研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时 的去除函数模型。分析了相关工艺参数，如磨头一工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近 距离对去除函数的影响，通过实验获得了驻留时间和去除函数中心去除深度的关系。采取两步加工法控制研抛后的表 面质量，分析表明：当磨头一工件角速度比为1．41时，反射镜的表面质量最好。介绍了计算机控制光学表面成形(CCOS) 法加工Woher-I型掠入射反射镜的过程。选择微晶玻璃为反射镜的镜胚，在自行研制的研抛设备上，以不同粒径的氧化 铈作为抛光液，对金刚砂砂轮粗磨后的工件进行抛光。通过改变磨头相对工件的压入深度．获得不同大小的磨头去除区 域．实现了对上一个抛光周期后的残留误差的有效去除。最终获得的反射镜面形精度为PV：1．39儿m，RMS：0．34 tim， 圆度均方根误差优于0．1 tim。实验结果表明：提出的两步法旋偏加工方案可用于掠入射反射镜的加工。 关键词：掠入射反射镜；柱面内表面；弹性球状小磨头；两步加工法；表面质量 中图分类号：TQl71．68文献标识码：A doi：10．3788／0PE0743 FabricationofWolter-I mirror grazing WANG Binl，CHENB01 Yong～gan91～，CUITian-gan91”，MAWen—shen91，CHEN and (L Institute Mechanics OwmgchunofOptics，Fine Phy矗cs，O矗neseAcademyof栅，C配．ngchun13：麒33，6hina； 2．Graduate Chinese 100039，China) Universityof AcademyofSciences，Beijing the structureof innersurfaceofaWoher-I remov— Abstract：For mirror，the special cylindrical grazing alfunctionofanelasticballtOOlwithdeflectedrotationmotionwasresearched。andtherelationsbe— tweenthemaxremovalofremovalfunction，dwelltimeandother obtained depth parametersbyexper—