冶金法提纯工业硅的研究.pdfVIP

助 锨 曹孝 斟 冶金法提纯工业硅的研究。 刘德华，张国梁，马晓东，刘 宁，李廷举 (大连理工大学材料科学与工程学院，辽宁大连116024) 摘 要： 以冶金级硅为原料进行了制备高纯多晶硅 等离子体熔炼、定向凝固等技术直接提纯冶金级硅o]。 锭的研究，自行设计了真空感应熔炼与定向凝固设备、 国内，昆明理工大学的马文会教授等人，采用组合真空 电子束熔炼设备。通过酸洗、真空感应熔炼与第一次 干燥、真空精炼、真空脱气等技术直接制备太阳能级 定向凝固、电子束熔炼、真空感应熔炼与第二次定向凝 硅[10,11]。 固等组合步骤对工业硅进行提纯。利用电感耦合等离 本研究以低成本冶金级硅制得高纯多晶硅锭为目 子体发射光谱仪(ICP-AES)进行成分分析，实验结果的，利用自行设计的真空感应熔炼及定向凝固设备、电 表明，定向凝固有效去除了金属杂质，电子束对蒸汽压 子束熔炼设备，进行了中试实验研究，为将来的商业化 高的元素，尤其是磷元素的去除作用明显。Al的浓度 生产打下基础。利用电感耦合等离子体发射光谱仪对 降低到了0．4×10～，Fe、Ca、Ti、Mn、Cu、Zn等金属杂样品进行了分析，主要杂质含量满足太阳能电池材料 质的浓度降到了0．1×10-6以下，P含量降低到1．5x使用要求。 10一。 2 实 验 关键词： 冶金级硅；真空感应熔炼；定向凝固；电子 束熔炼 实验流程如图1所示。 中图分类号：TF533．2 文献标识码：A ICP分析 文章编号：1001-9731(2009)11-1822—03 1 引 言 太阳能作为一种可再生绿色能源近些年引起各国 日州瓣曩吲瓣到 高度重视，得到了快速发展[1]。光伏产业的迅速发展 图1 实验流程图 1 Schematicof 给世界太阳能电池制造商带来了无限的商机与利润， Fig diagramexperiment 硅材料作为太阳能电池的主要载体材料也得到了迅猛 将工业硅破碎，放人酸洗槽中，采用吹气搅拌，进 发展‘引。 行HF、HCl顺序酸洗。酸洗48h后，清洗至中性，烘 多晶硅太阳能电池转换效率与单晶硅太阳能电池 干。 接近，而成本却低很多，因此多晶硅太阳能电池是目前 将经过酸洗的硅粉放入真空感应熔炼炉中，进行 太阳能电池的主流【3]。前些年，生产太阳能电池的多 感应熔炼，熔化后进行定向凝固。设备如图2所示。 晶硅原料大都是纯度达不到电子级硅要求的废料或者 是直拉单晶硅锭的切边料H]。近些年，在高额的利润 和巨大的市场的吸引下，许多电子级多晶硅生产商利 用多余的生产能力来生产太阳能级多晶硅，然而用生 产电子级硅的工艺去生产太阳能级多晶硅成本过 高[5]。由于供不应求，多晶硅价格上涨，太阳能电池成 本增加，严重制约了太阳能电池的普及使用，原料的严 重短缺已成为光伏产业发展的瓶颈[6]。 采用冶金法直接将工业硅提纯制备太阳能电池用 多晶硅，环境污染小，成本较低，因而备受各国研究者 关注哺J。冶金法是目前一种新发展的制备高纯多晶硅 图2真空感应熔炼与定向凝固设备 2 and ofvacuuminductionmelting 的研究工艺，主要包括吹气精炼、等离子束熔炼[71，定 FigEquipments 向凝固，造渣[