化学修饰的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备YBCO薄膜图形的研究.pdfVIP

低温与超导 超导技术 Cryo．Supercond． 第42卷第1期 Superconductivity V01．42No．1 薄膜图形的研究 张黄莉 (西安邮电大学理学院，西安710121) 摘要：化学修饰的Sol—Gel法因无需光刻胶、腐蚀液被用于YBCO薄膜图形的制备。以丙烯酸(从)、苯酰丙 酮(BzAcH)作为化学修饰剂制备YBCO薄膜图形，研究了化学修饰剂、光源、前烘温度和时间、溶洗剂对薄膜图形 的最小线宽和质量的影响。 关键词：化学修饰的Sol—Gel法；YBCO薄膜图形；化学修饰剂 onthe YBCOmmthe modified method Study patterned by chemicallysol—gel ZhangHuangli of ofPostsand (SchoolScience，Xi’allUniversity modified methodwasusedto the YBCOfilmsbecauseofno Abstract：A fabricate chemicallysol—gel patterned photoresist andetchant．TheYBCOfilmswere acid(AA)and chemicalmodi- patterned preparedusingacrylic benzoylacetone(BzAcH)as tiers．The modified chemical and inthe modifier，UVlightsource，prebaketemperaturetime，solubilitychemicallysol—gel methodthatinfluencetheminimumlinewidthand ofthe filmswerestudied． quality patterned modified film modifier Keywords：Achemically method，YBCO sol—gel pattern，Chemical 1 引言 有紫外感光特性。在紫外光照射下，凝胶薄膜中 的螯合物发生分解，薄膜的性能发生变化，表现为 YBCO超导薄膜因其优良的性能被广泛用于未被光照的区域和光照区域的薄膜在甲醇、乙醇 微电子学领域，如高温超导滤波器，红外探测器， 等有机溶剂中的溶解度存在明显的差异，经过有 THz天线等¨q 机溶剂的溶洗，可获得所需凝胶薄膜的微细图形。 J。在微电子器件的制备过程中， 最后对所制备的凝胶薄膜图形进行热处理，获得 其微细加工是一必不可少的步骤。YBCO薄膜微 氧化物薄膜微细图形。该方法将薄膜的制备与微 细图形的制备主