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2015-09-30 发布于重庆
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ITO薄膜的XPS和AES研究.pdf

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ITO薄膜的XPS和AES研究

第卷第期材料研究学报年月薄膜的和研究陈猛装志亮白雪冬黄荣芳闻立时中国科学院金属研究所摘要分别用和分析了薄膜真空退火前后各元素化学状态的变化和深度分布情况研究表明, 退火前后和处于各自相同的化学状态中以氧充足和氧缺乏两种化合状态存在, 其结合能值分别为士和士氧缺位状态主要分布在薄膜表层各元素在薄膜体内分布均匀而在膜基界面存在金属富集关锐词化学状态光电子能谱俄歇电子能谱拟合一一分类号文章编号一五厦 , , 乞已