《《ITO镀膜产品污染清洁》.pdfVIP

触摸屏制造工艺实战与难点 李星 [三]ITO 镀膜产品污染清洁 一、前言 随着光电子产业的迅猛发展，清洗工艺在光电产品中是必不可少的工艺， 清洗对产品的质量、精度、外观等方面的影响也越来越重要。如何保证产 品的高可靠性和高成品率？如何保证生产的安全性及生产过程中对环境的 保护？在又安全又环保的前提下，如何彻底清除物体表面的污物？这些都 是每个光电子产业从业人员每天都要思考和关注的话题。 我们知道，微电子行业一般都是属于与半导体相关的行业，而 ITO 属于掺 锡氧化铟的半导体，导电载流子主要是导带锡中的电子，属电子型导电 N 型杂质半导体。而在实际应用中，又是利用了 ITO 在一定膜厚下透过率显 著变化的光学特性，所以，ITO 镀膜产品的污染，不但会改变镀膜产品的导 电性能，还会改变其光学性能。 ITO 镀膜产品是绝大多数平板显示器和触摸屏的产体结构材料，对它的导电 性和光学性要求十分严格，所以在利用 ITO 膜进行绝大多数平板显示器、 触摸屏生产