KDP晶体表面波纹度的监测与分析.pdfVIP

工艺与检测T 0Il0gyandTesf KDP晶体表面波纹度的监测与分析 关佳亮① 陈 玲① 刘益嘉① 朱生根② (①北京工业大学机电学院，北京 100124；②北京工研精机股份有限公司，北京 101312) 摘 要 ：采用二次通用回归旋转组合设计方法和单点金刚石飞刀切削(SinglePointDiamondTurning。简称 SPDT)技术，对 KDP晶体进行切削试验。利用声发射技术对 KDP晶体不同表面波纹度的信号进 行采集，对试验结果进行测量与分析。通过时域分析可得到 ：均方值可作为 KDP晶体加工过程中 表面波纹度在线监测的重要时域特征量 ；通过频域分析可得到：150—200kHz可作为在线监测 KDP晶体表面波纹度度的特征频段。 关键词 ：声发射技术；KDP晶体 ；时域 ；频域 ；在线监测 中图分类号：TH16 献标识码 ：A MonitoringandanalysisofKDP crystalsurfacewaviness GUANJialiang① CHEN Ling① LIUYijiai①，ZHUShenggen② ， ， (①CollegeofMechanicalElectrical，BeijingUniversityofTechnology，Beijing100124，CHN； @BeijingPrecisionMachineryEngineeringResearchCo．，Ltd．，Beijing101312，CHN) Abstract：Quadraticgeneralregressionrotaryunitizeddesignandsinglepointdiamondturningareadoptedforcut— tingexperimentsofKDPcrysta1．AcousticEmissionisusedtocollectsignalofKDPcrystalwithdifferent surfacewaviness，measureandanalyzethetestresults．Itcanbeobtainedbytimedomainanalysisthat mean——squarevaluecanbeusedasanimportantcharacteristicquantityoftimedomain in KDP crystal surfacewavinessonlinemonitoring；itcanbeobtainedbyrfequencydomainanalysisthat150～200kHz canbeascharacteristicsbandinsurfacewavinessonlinemonitoringKDPcrysta1． Keywords：acousticemission；KDPcrystal；timedomain；rfequencydomain；onlinemonitoring KDP(磷酸二氢钾 KHP0)晶体是一种性能优 良 的加工时间。因此，对 KDP晶体加工过程 中表面波纹 的非线性光学元件。 目前，大 口径 KDP晶体是唯一可 度的状态进行在线监测对指导实际加工具有重要意 用作惯性约束核聚变系统中高功率激光驱动装置器的 义，若波纹度可以满足要求则继续加工，反之，则快刀 Pockels盒的光学晶体材料_1J。表面粗糙度、表面波纹 走过，调整机床状态或工艺参数后再进行加工，利于节 度和透射波是大 口径 KDP晶体 3项最难达到的技术 省加工、卸工件和检测的时间，减少刀具的磨损 ，提高 指标 J，且表面波纹度是影响因素最复杂、最难控制 加工效率和表面质量。 的指标。利用SPDT技术对KDP晶体进行加工后，在 l 声发射技术简介与信号采集 已加工表面上沿着圆弧刀具的