硼硅酸盐微晶玻析晶动力学及其应用研究.pdfVIP

硼砖酸盐微品玻璃析晶动／J学及j￡应用研究 摘 要 硼硅酸盐微晶玻璃具有熔点低，化学稳定性好、热膨胀系数调节范围宽、介 电性能优良等特点，在信息产业及能源工业中具有广阔的应用前景。作为半导体 硅晶片掺硼的固态扩散源和固体氧化物燃料电池(SOFC)双极板的密封材料是硼 硅酸微晶玻璃的两个重要应用，也是当前研究的热点之一。 晶玻璃。根据微晶玻璃的应用背景，结合析晶动力学研究方法，较系统地研究了 组成对微晶玻璃的晶化行为、显微结构及相关性能的影响，并对所制得的微晶玻 璃进行了在硅晶片上的掺硼扩散试验。 。 比值的增大，Si4+在玻璃网络结构的地位被削弱，而B3+在玻璃网络中则逐渐占有 体，硼含量的增加不仅提高了玻璃的析晶能力，而且有利于A148209晶体的析出。 单独引入不同的碱土金属氧化物到玻璃中均能形成良好的玻璃，玻璃析晶能力变 (5—6 剂， 它们的引入使得析出晶体的尺寸极其不均。 采用熔融法制备的硼微晶玻璃扩散源片不容易引入杂质，不含气孔，材料结 构致密，晶粒尺寸细小均匀，是制备高纯度长寿命硼微晶玻璃扩散源的有效方法。 保温1～2h。实验中所制得的硼微晶玻璃扩散源片经硼预扩散和再扩散共300h的 试用，各项指标均与进口同类样品相当，且未发现炸裂、变形等现象，进一步通 过电参数和可靠性验证后，有望取代进口。 以网络中间体形式存在于玻璃网络结构中，玻璃稳定性增加：当A1203含量增加 玻璃的热膨胀系数增加，而B203／Si02比增大，玻璃的热膨胀系数会稍有减小， 玻璃的热膨胀系数会降低，其中引入Zn0的玻璃下降最多，为14％，而玻璃转 Ⅱ 硼硅酸盐微晶玻璃析晶动力学及j￡成用研究 变温度和软化温度则是升高的。 本文研制的SOFC封接用玻璃的热膨胀系数基本都能与电解质材料 璃在700℃热处理100h后，热膨胀系数增加小于1％，具有较好的长期稳定性。 引入RO的玻璃中对热膨胀系数影响最大的是ZnO，达到2％。各玻璃经700℃热 处理100h后，界面结合紧密，没有出现明显的反应层，扩散层厚度均小于1吮m， 与电解质材料具有很好的化学相容性。 关键词：硼硅酸盐微晶玻璃；析晶行为；显微结构；硼扩散源；SOFC封接 Ⅲ Abstract Borosilicate hasabroad ininfbrmationand glass·ceramics applicationprospects toits suchas cnergyindustryowinguniquepropertieslow-melting chemical ofthermal stabilitygood coefficient，and adjustability expansion good dielectric ofborosilicate properties，etc．TWoimportantapplications glass—ceramics are siliconwaferdiffusionand bofon-doped sourcesealantsfOrsolidoxidefuelcell oneofthehotresearch (SOFc)，alsobeing topics，currently． Inthis and were study，B20