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清洗技术与设备 电 子 工 业 苣 用 设 蚤 1D 在线等离子清洗设备控制系统设计 杨 静，苗 岱，刘 畅 (中国电子科技集 团公司第二研究所，山西 太原 030024) 摘 要 ：作为一种精密干法清洗设备 ，等离子清洗机可以有效去除 IC封装工艺过程 中的污染 物 ，改善材料表面性能，增加材料表面能量。与传统独立式的等离子清洗设备相 比，在线式等离子 清洗设备具有 自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适应范围广等优点，适用于大规模全 自 动化生产 。 关键词 ：IC封装；等离子清洗；在线式；控制系统 中图分类号 ：TN305．97 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2012)01—0016—07 Research onTheControllingSystem DesignofOn-line PlasmaCleaningM achine YANG Jing，MIAODai，LIU Chang (TheSecondResearchInstituteofCETC，Taiyuan030024，China) Abstract：Asaprecisiondrycleaningmachine，theplasmacleaninghassuchfunctionsaseliminating contamination effectively，improvingmaterialsurfaceproperties，andincreasingthematerialsurface energy．Comparedwith thetraditionalindependentplasmacleaningequipment，theon—lineplasma cleaningmachinehastheadvantagesofhi曲 automation，hi曲 cleaningefficiency，cleanness，and widerangeofapplicationandSOon，which isapplicableforthemassproduction．Theessaymainly makesintroductionoftheequipmentcontrollingsystem design． Keywords：IC packaging；Plasmacleaning；On—line；Conrtolling 等离子清洗工艺具有成本较低、容易使用、维 华创 电子股份有限公司微 电子设备分公司等为数 护及保养费用低、环保等优点，可应用于芯片粘结 不多的几家研究院所近年来一直致力于等离子体 工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理。 清洗技术的研究，并取得了真空低压冷等离子体 随着 国际上对等离子体清洗技术的深入研究及其 清洗设备的研制成功、常压空气辉光冷等离子体 越来越广泛的应用，等离子清洗设备的需求也成 清洗技术的初步研究进展等一系列重要成果。 目 倍增长 。然而，等离子清洗在我 国尚处于起步阶 前国内集成 电路生成线上如江阴长江 电子，南通 段 。中国电子科技集 团公司第二研究所、北京七星 富士通公司等所使用的等离子清洗机基本上都是 收稿 日期 ：2011-12—08 I 电 子 工 业 毫 用 设 备 清洗技术与设备 从 国外进 口，在发达 国家的技术垄断下，设备价格 研制的常规等离子清洗设备，参考 国外设备结构 比较高。 形式，采用适应于集成电路模块全 自动清洗运行 为此利用现有成熟的等离子体清洗工艺技术 方式，制造适用于大规模生产的集成 电路在线式 和设备制造基础 ，增加设备