引线键合高频超声换能系统研究.pdfVIP

中文摘要 本文以提高引线键合设备的性能、封装质量和超声能量的利用率为目标，针 对引线键合用高频超声换能器的设计方法、材质选择以及匹配驱动电路的设计做 了较为详尽的研究。全文工作及所取得成果如下： 1．基于振动和波动理论，运用机电等效原理构建了聚能器和换能器各组成部分 的数学模型以及压电换能系统的机电等效电路，并建立了硬铝、不锈钢和钛 合金三种材质超声换能器的初始模型。 2．针对上述三种材质超声换能器的初始模型，利用有限元分析软件ANSYS对其 各组成部分及整体进行优化设计，得到三种材质超声换能器的最优模型，并 对此三种优化模型做了整体谐振特性对比分析，最终得出硬铝超声换能器性 能最佳，钛合金以及不锈钢超声换能器次之的结论。 3．基于锁相环集成芯片CD4046设计了具有频率跟踪锁相、滤波、功率放大等 功能的超声换能器驱动电路，同时对超声换能器的匹配做了较为详尽的研 究，并得出对于小功率(一般不大子10W)超声换能器可不予匹配的结论。 4．借助阻抗分析仪和激光多普勒测振仪对三种材质的超声换能器进行测试分 析，其结果与有限元分析相一致，验证了硬铝超声换能器性能最佳的结论。 以上工作为引线键合设备的研制奠定了一定的基础，同时也为超声换能系统 的相关研究提供了一些方法和实验经验。 关键词： 超声换能器，材质， 匹配，锁相环，阻抗分析 ABSTRACT Inthis at the and ofthewire quality dissertation，aimingimprovingperformance bonderandtheconversion oftheultrasonic for methodology efficiency energy，a of ultrasonictransducersis theinfluences designinghigh—frequency proposed，and ofthe transducersarestudiedindemil，andthe materialonthe ultrasonic performance match．drivecircuitisalso worksandachievementshave following designed．The been accomplished． mechanical 1．Basedonvibrationandwave the between theory，utilizingsimilarity resonance，themodelofultrasonicconcentratorand vibrationandelectrical transducerarebothformulated，andtheelectromechanical of equivalentcirc