飞秒激光加工微光学器件若干关键问题地研究.pdf

国科学技术人学悱|f学位沧文 焦。本文研究了如何利用这利咱发多次聚焦进行微光学器件的并行加工。该方法 中的多个焦点足由光束与物质作用时自发产生，其分布仅依赖于光强等参数，所 以可以通过对光强等参数的调整实现对并行加工的控制，相对简单易行。文中对 自发多次聚焦进行了数值模拟，总结出影响多个焦点分布的因素。在实验中，利 用这种多次聚焦产牛的多个焦点并行加丁出多个光波导，通过调整影响因素实现 了对并行加工出的多个波导分布的控制，验证了该方法的可行性。 基于以上研究工作，本义在以下两方面有创新之处： l、提出一种新的改进垂直式加工的方法，该方法可以有效改善加工区域中心对 称性。相对以往的改进方法，实现起来更为简单，同时不会引入额外损耗。 2、首次提出利_Hj飞秒激光与物质相互作_Hj时自发产生的多次聚焦进行并行加 工。相对以往利用分光元件进行并行加工，该方法对加工结果分布的控制更 加灵活方便。 关键词： 飞秒激光 微光学器件加工 光束整形 并行加工 多次聚焦 U PhD ofScience Abstract Disser