隨機規劃法在半導體機台組態規劃之應用.PDFVIP

管 理 與 系 統 Journal of Management Systems 第十二卷 第四期 民國九十四年十月 Vol. 12, No. 4, October 2005 1-15頁 pp. 1-15 隨機規劃法在半導體機台組態規劃之應用 Application of Stochastic Programming to Tool Portfolio Planning In Semiconductor Manufacturing 林毓舜 Yu-Shen Lin 張毓恆 Yu-Heng Chang 周雍強 Yon-Chun Chou 國立台灣大學工業工程研究所 Institute of Industrial Engineering, National Taiwan University (Received June 21, 2004; Final Version May 5, 2005) 摘要 ：半導體製造的機台組態規劃問題是指依據產品需求與製程要求，考量投資報酬與風險等 因素，以決定工廠內機台類別與數量的規劃程序，所面臨的困難主要在於產品需求的動態變化、 複雜的製造途程、以及設備採購前置時間所綜合造成的不確定性。機台組態規劃常見的方法有公 式試算、整數規劃、以及隨機規劃，文獻上還未見這些方法的比較分析，因此本文探討隨機規劃 法在機台組態規劃的應用價值。隨機規劃法是一種適用於不確定性問題的數學規劃法，其效益與 不確定性的程度有關，本文分兩大部分，第一部份是以產業的需求與途程實務資料，先量測產品 類別、企業、工廠三個階層所面臨的需求變動特性，以界定需求的不確定程度，第二部份評估隨 機規劃法在機台組態決策的適用性，並證實該方法確能有顯著效益。隨機規劃法還未為產業所普 遍採用，本文建議在面對需求不確定的產業環境，晶圓製造廠值得採用這個方法。 關鍵詞 ：隨機規劃、機台組態規劃、半導體製造、產能規劃 ： Abstract Tool portfolio planning is an important task in semiconductor manufacturing in which the types and quantities of processing tools are determined. The challenging facing tool portfolio planning is the uncertainty in product demand and process technology, complicated process routing and long procurement lead-time. Methods commonly used for tool portfolio planning include static computation using formulas, integer programming, and stochastic programming. There have been no studies on comparing the relative merits of these methods in application to tool portfolio planning. The paper is 2 理 made up of two parts. In the first part, we calibrate the uncertainties of demand in several product segments: in the aggregate demand of a company and in the output of several