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第三课时 传感器技术 主讲：乔艳艳 第三课时 传感器技术 教学目的： 1、了解传感器技术学科特点； 2、了解传感器的材料分类方式； 3、了解检测技术、工艺加工技术及传感器的加工工艺流程； 教学重点、难点： 1、重点：了解传感器材料分类、检测技术、工艺加工技术及流程。 2、难点：掌握检测、工艺加工技术及加工工艺过程。 传感器技术学科特点 传感器技术是当今世界的高新技术之一,也是当代科学技术发展的一个重要标志,它与负责信息传输的通信技术,担负信息处理的计算机技术构成现代信息技术的三大支柱, 没有传感器提供的可靠、准确的信息,通信和计算机技术就成为无源之水。 传感器主要涉及三大学科知识：材料科学、检测技术和工艺制造技术 。 传感器技术学科特点 图1－8　传感器技术学科特点 传感器的材料 传感器的敏感原理是一些物理现象或化学现象, 传感器所涉及的材料问题错综复杂,传感器材料的定义和分类至今没有统一和标准化。 传感器的材料 传感器材料大致可分为两大类：敏感材料和辅助材料。例如,电阻应变计主要需要四种材料。电阻敏感栅材料属敏感材料, 基底、粘结剂和引出线三种属辅助材料。　　辅助材料是传感器不可缺少的组成部分, 直接影响传感器的特性、稳定性、可靠性和寿命。 传感器的材料 敏感材料是传感器材料的核心,它决定了传感器的作用机理。  按照敏感材料的材质分类,可分为：半导体材料、敏感陶瓷材料、金属与合金材料、无机材料和有机材料、生化材料等。 检测技术 检测技术是依据物理、化学、生物反应等机理,对信号采集、处理的技术。它涉及电子技术、半导体技术、激光技术、光纤技术、声控技术、遥感技术、自动化技术、计算机应用技术等。 工艺加工技术 　　加工工艺是传感器从实验室走向实用的关键。由于传感器研究的跨学科性,现代加工制造技术中的各种工艺手段在传感器领域都有所体现。微机械加工技术以及集成电路生产工艺在传感器领域的应用,为传感器的小型化、微型化乃至智能化提供了一个重要手段,可以实现大批量生产小型、可靠的传感器,已经成为传感器生产的重要工艺手段。 工艺加工技术 图1－9给出了迄今为止各种加工技术所能达到的精度和被加工物体的大小。从此图中可以看出, 机械加工精度最高1μm, 集成电路的掩膜精度可达100nm, 用移动原子的处理方法精度可达零点几纳米。 工艺加工技术 图1－9　应用不同加工方法得到的加工精度 工艺加工技术 传统的机械量传感器,如位移、压力、流量传感器,其敏感元件的尺寸一般比较大,且往往由多个零部件组合而成,因此也有人称之为结构型传感器,其生产过程的自动化程度依生产批量而定。这类传感器(即使是那些大批量生产的传感器)的加工工艺一般都包括人工调整环节。大量的生产厂家仍然采用机械加工结合手工调整的方式进行。 传感器技术 总体来说,传感器的加工工艺可概括为:原材料的物理化学分析与力学性能测试工艺→弹性体的锻造、机加工及热处理工艺→弹性体的稳定化处理工艺→弹性体的整体清洗,贴片面的准备工艺→应变计的筛选、配组工艺→应变计的粘贴、加压及固化工艺→组桥、布线及性能粗测工艺→线路补偿与调整工艺→传感器整机老化处理工艺→防潮密封工艺→性能检测与标定工艺。 传感器技术 小结： 通过本课时学习，了解传感器技术学科特点，了解传感器材料分类、检测技术、工艺加工技术及流程。