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摘 要 微波介质陶瓷是指应用于微波频段电路中作为介质材料,并完成一种或多种 功能的陶瓷,是近几十年发展起来的一种新型电子材料,它具有较低的微波介质 损耗,高的介电常数和接近于零的谐振频率温度系数等特点。这几年来,微波介 质陶瓷的研究十分的活跃,已经成为目前功能陶瓷领域的研究热点之一。 本论文从微波介质陶瓷的研究背景、发展状况、基本特征、制备技术以及介 电性能测试表征等方面对微波介质陶瓷材料进行了系统地综述。在此基础上,提 出了以 BaO-Y O -TiO 系列为主要研究对象,系统深入地研究了包括材料的配 2 3 2 方、制备工艺以及掺杂等对微波介电性能的影响,制备出了性能良好的微波介质 陶瓷材料。 首先研究了不同配方 BaO-Y O -kTiO 系微波介质陶瓷的性能变化,发现不 2 3 2 同的k (k=3 ,4 ,4.5 ,5 )值下BaO-Y O -kTiO 系列陶瓷的介电常数随 k 值的增 2 3 2 大逐渐的降低,同时损耗也相应降低,在 k=3 时有较高材料的介电常数ε =331, r 但是相应的介电损耗也较大tanδ=0.024 ,k=4 时介电常数ε=78.3, 介电损耗tanδ 3 r -3 -4 ×10 ,当k =5 时候介电常数进一步减小到ε=53 ,tanδ 9 ×10 。同时频率温度 r 系数随着 k 值增大由 τ=-280ppm/ ℃增大到τ=95ppm/ ℃。 f f 在配方研究的基础上选择了介电常数较高、损耗较低的 BaO-Y O -4TiO 、 2 3 2 BaO-Y O -5TiO 两组配方作为进一步研究的对象,研究了不同预烧温度和烧结 2 3 2 保温时间对微波介质陶瓷材料性能的影响,发现不同的预烧温度对陶瓷的相组成 基本没有什么影响,陶瓷主晶相都为烧绿石结构的 Y T O ;并且在一定的温度 2 2 7 范围内改变预烧温度对材料介电常数的影响不大。但是烧结保温时间对陶瓷材料 的显微结构及微波介电性能有重要的影响,随着保温时间的延长,陶瓷中残余的 气孔逐渐被排除,晶粒逐渐长大,致密性进一步的提高,陶瓷的介电常数也有所 增大。 BaO-Y O -4TiO 系列陶瓷在 1240℃下保温2~16h,ε 由76.6 增加到了 79.5, 2 3 2 r BaO-Y O -5TiO 系列在 1240℃下保温2~16h,ε 由52 增加到 53.5 。同时介电损 2 3 2 r 耗随着保温时间的延长也有较大的改善。BaO-Y O -4TiO 系列在保温时间为 8h

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