固着磨料抛光碳化硅反射镜的去除函数.pdfVIP

第 17卷 第 5期 光学 精密工程 Vo1．17 NO．5 2009年 5月 OpticsandPrecisionEngineering M ay 2009 文章编号 1004—924X(2009)05—095107 固着磨料抛光碳化硅反射镜的去除函数 王 旭 ，张 峰 ，张学军 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进 制造技术重点实验室，吉林 长春130033；2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：进一步研究了采用 固着磨料数控加工碳化硅反射镜的工艺，基于平转动加工方式的去除函数理论推导出了多丸片 抛光盘的去除函数模型。根据趋近因子、曲线距离等结果对抛光盘运动偏心距及丸片间距等参数进行优化，由优化后的 参数指导实验。理论模型与实验结果对 比显示 ，理论最大去除率与实验数据 的偏差为 0．0073~／m／min，偏差 比例为 5．58％；理论去除函数曲线与实验 曲线的距离偏差 D…为 0．0849 m，偏差 比例为 7．O1 。在分析部分，引入填充因子 来间接评价去除函数形状。实验结果很好地验证了理论模型的准确性。该模型对固着磨料磨具抛光的工艺过程具有很 好 的预测性，在加工碳化硅反射镜领域极大地弥补 了使用散粒磨料工艺加工所带来 的不足，使加工效率得 以明显提升。 关 键 词 ：固着磨料 ；丸片；碳化硅 ；去除函数 中图分类号 ：TQ171．684 文献标识码 ：A Removalfunction ofcomputercontrolledpolishing SiC mirrorwithfixedabrasive WANGXu ，ZHANGFeng ，ZHANGXue—jun (1．KeyLaboratoryofOpticalSystem AdvancedManufacturingTechnology，ChangchunInstitute ofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofScience，Changchun130033，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：A new computercontrolledpolishingtechnologycalledthefixedabrasivemachiningtechnol— ogyisdescribedinthispaper，andaremovalfunctionmodelformulti—pelletpolishingpadsisestab— lishedbasedon theremovalfunctiontheoryofplanemotion ．Theparametersofthemode1，motionde— flectiondistanceofthepolishing padandthedistancebetween pelletsand pelletsareoptim izedbya approachingfactorandacurvermsdistancetouseinexperiments．Thecomparisonofthetheoretica1 modelandtheexperimentalresultsshow thattheerrorbetweenthetheoreticalmaximum removalrate andtheexperimentdataiS0．0073um／min，anditsdeflectionratioiS5．58 ．Thermsdistancewarp betweenthetheoretica1removalfunctioncurveandtheexperimentalcurveiS0．084 9 “m and itsde— flection ratio is7．01 ．Theveracity ofthetheoretica1modelisverified by experimentalr