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第8章 声表面波技术及其传感应用 日期： 第8章 声表面波技术及其传感应用 8.1 概述 8.2 声表面波技术基础知识 8.4 SAW传感技术 8.6 SAW传感器的信号检测与处理 8.7 典型声表面波传感器简介 8.8 SAW传感器的温度补偿 8.1 概述 声表面波SAW（Surface Acoustic Wave）是一种能量集中在介质表面传播的弹性波，最早是由英国物理学家瑞利在1885年研究地震波传播过程时发现的。 1965年美国的White和Volrmov利用叉指换能器IDT（Interdigital Transducer）直接在压电介质上有效地激励出SAW后，SAW技术才很快地发展起来。 声表面波激发--叉指换能器 在发射叉指换能器上施加适当频率的交流电信号后，在压电晶片内部分布有电场，该电场可分解为垂直和水平二个分量（Ev和Eh），通过逆压电效应使指条电极间的材料发生垂直于和平行于表面的交变形变（声波），其频率与激励频率一致，此声信号沿基片表面传播，并最终由接收叉指换能器通过压电效应转换为电信号输出。 常用的声表面波器件材料 制作SAW器件的基片材料，必须是压电材料。压电材料的特性将直接影响所制作的SAW器件的各项性能，进而对SAW传感器的性能指标产生重要影响。 表征压电材料性能的重要参数有介电常数、弹性常数、压电常数、介质损耗、机械品质因数、居里温度、温度系数以及机电耦合系数等，它们分别描述了压电材料的弹性、压电、介电、热学性质。 从应用角度来看，不同用途的压电材料对上述各参数有不同的要求。 常用的声表面波器件材料 在实际应用中，对压电基片材料的基本要求包括较大的机电耦合系数，零或较小的温度延时系数，较低的传播损耗，同时这种基片材料还要易于生产，便于加工，价格合理。 目前使用的SAW基片材料有单晶压电材料（重复性好、可靠性高、声表面波传播损耗小，但是一般难以同时满足机电耦合系数高，而温度系数又要小的要求，且一般它们是各向异性材料，所以需要有高精度的定向切割技术）、压电陶瓷（机电耦合系数大，其横向各向同性，容易制成任意形状，价格低廉，工作频率受限，一致性差）和压电薄膜（压电薄膜和非压电衬底形成了多层结构，表面波传播特性则由压电薄膜和衬底的特性共同决定，方便集成）三种。 8.1 概述 声表面波具有较低的传播速度和较短的波长，大概是相应电磁波的10-5倍，因此在同一频段上，SAW器件的尺寸比相应电磁波器件的尺寸小得多，这样就可以大幅度减小器件的体积和重量，有利于电子器件的超小型化。 由于声表面波是沿固体表面传播的，且传播速度较慢，这使得时变信号在给定瞬时可以完全呈现在晶体基片表面上，当信号在输入和输出之间行进时，就容易对信号进行注入、提取和变换等处理。 声表面波是晶体表面传播的弹性波，不涉及晶体内部电子的迁移过程，这样使得SAW器件具有较强的抗辐射能力和较大的动态范围。 8.1 概述 声表面波器件所具有的不同于电磁波和体波的特殊性质使SAW器件在许多领域得到了广泛的应用，目前已经研制成功或正在研制的SAW器件主要包括：滤波器、延迟线、振荡器、混频器、放大器、卷积器、相关器、编码器、声光调制器、声光偏转器、声光开关、超声马达、射频标签和传感器等。特别是其作为一种快速、超小型的频率控制、选择和信号处理器件，对电子和通信系统的发展起着极为重要的作用。目前，SAW器件正在朝着GHz频段到10GHz频段的超高频化发展。 利用SAW器件研制、开发新一代传感器始于20世纪80年代，起初人们在研究SAW电子器件时发现，外界因素(如温度、压力、磁场、电场、某种气体等)对SAW传播特性会造成影响，进而研究了这些影响与外界因素的关系。根据这些函数关系，设计了各种所需结构，用于测量各种化学的、物理的被测参数。 8.1 概述 ⑴高精度、高灵敏度 由于SAW能量集中在介质表面，对外界物理参量的扰动非常灵敏，因而SAW传感器具有很高的灵敏度，可以检测到常规传感器难以检测到的微小变化。 SAW压力传感器，精度可达0.01％，灵敏度可达0.3×l0-6f0／Pa。若传感器的中心频率f0为300MHz，检测器能检测出1Hz的频率变化，那么该传感器可反应出0.01Pa的压力变化。 SAW温度传感器，其理论分辨率可达10-7℃ 。 8.1 概述 ⑵准数字输出：SAW传感器工作时以频率信号输出，不需经A／D转换便可与微机接口，既便于传输处理，同时也减小了数字化带来的误差。 ⑶微型化，低功耗：声表面波传感器为物性型传感器，利用半导体制作工艺，可以使集成化技术得到充分应用，容易将信息敏感器件与信息处理功能电路集成在一起，大大减小传感器的体积和重量，做到传感器微型化。同时因为SAW的能量集中在介质表面，因而损耗低，加上