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Die Hardening Die Hardening Die Hardening Die Hardening Die Hardening Die Hardening 源(Source): 一般采用气体源,如 BF3,BCl3,PH3,ASH3等。如用固体或液体做源材料,一般先加热,得到它们的蒸汽,再导入放电区。 离子源(Ion Source): 灯丝(filament)发出的自由电子在电磁场作用下,获得足够的能量后撞击源分子或原子,使它们电离成离子,再经吸极吸出,由初聚焦系统聚成离子束,射向磁分析器 气体源:BF3,AsH3,PH3,Ar,GeH4,O2,N2,... 离子源:As,Ga,Ge,Sb,P,... 离子注入过程是一个非平衡过程,高能离子进入靶后不断与原子核及其核外电子碰撞,逐步损失能量,最后停下来。停下来的位置是随机的,大部分不在晶格上,因而没有电活性。 激光淬火过程: 将104~105W/cm2高功率密度的激光束作用在工件表面,以105~106℃/s的加热速度将工件表面迅速升温至相变点以上,然后依靠冷态基体以105℃/s的速度自冷淬火。 一、 激光表面淬火 2 激光淬火设备 工业上常用的激光发生器有横流CO2和YG两种。 激光器 波长 (μm) 光子 能量 (eV) 功 率 输出 方式 模式 发散角全角 电光转化效率 (%) CO2 10.6 0.12 大,可达几十千瓦 连续、脉冲 基膜或多模 1-3 15-20 YAG 1.06 1.16 小,最大几千瓦 连续、脉冲 多模 5-20 3 主要工业用激光器 (1)与基体力学性能有关的热处理:被处理金属的原始组织对激光淬硬层的硬度和深度都有影响。 3 材料表面预处理 (2) 提高零件表面激光吸收率的黑化处理:~80%的激光被平整金属表面反射,黑化处理可以增加激光吸收率。 黑化处理的方法有:涂碳素墨汁、磷化处理、氧化处理或激光专用黑色涂料。 相变硬化层的深度H与工艺参数的关系为: 4 激光淬火的工艺参数 激光淬火适用范围:硬化层深度≤0.75mm,宽度<1.2mm,表面硬化效率80~85mm2/min,一般激光表面淬火功率为1~6kw/cm2。 激光淬火主要工艺参数有激光功率P、光斑直径D和扫描速度v。 (1) 激光淬火组织 相变硬化区:极细的马氏体; 过渡区:为复杂的多相组织; 基体:原始的基体组织。 5 激光淬硬层的组织和性能 图4-7 45钢表面激光淬火 区横截面金相组织 图4-8 45钢激光淬火区显微 硬度与淬硬层深度的关系 (2) 激光淬硬层的硬度(1) 激光淬硬层的硬度(2) 因极快速的加热和冷却,致使激光淬硬层的硬度比常规淬火高15%~20%。淬硬层的硬度与和钢的淬硬性有关。 (3) 激光淬硬层的耐磨性 淬硬层组织细化,硬度比常规淬火高15%~20%,耐磨性提高1~10倍。 能精确控制硬化层深度,工件变形小,表面无氧化脱碳。 只要激光能照射到的部位都可实现表面硬化处理。 加热速度快、自动化程度、生产效率高。 需对工件表面进行预处理,以增加工件吸收激光的能力。 设备较贵。 6 激光淬火的特点 感应加热淬火示例 Die Hardening Induction hardening of forming tool (Volvo) Final result. 第三节 火焰表面加热淬火技术 (flame surface hardening) 用火焰将工件表面快速加热到Ac3或Acm以上,然后用水快速冷却,以在表层获得马氏体组织。 分焰心1、内焰2和外焰3三个区。 内焰温度最高。 有较大的温度梯度。 (根据氧与乙炔的比例不同,氧-乙炔焰还可分为氧化焰、还原焰、中性焰三种) 1 火焰加热的特点 要有较高的发热值,来源容易,价格低廉,贮存和使用安全可靠,污染小。 2 火焰加热淬火用燃料 (1) 旋转法:火焰喷嘴或工件旋转。 适合中小型工件。 3 火焰加热淬火方法(1) 为了使工件表面加热均匀,可采取如下方法: (2) 推进法:工件和火焰喷嘴做相对移动。 适合导轨、大齿轮等工件; 火焰加热淬火方法(2) (3) 联合法(旋转推进法): 使火焰喷嘴及冷却装置沿着转动的工件作相对移动。 适合长轴类工件。 火焰加热淬火方法(3) 单位时间消耗的燃气越多,加热速度越快。 火焰停留的时间越长,表面温度越高。 火焰停留时间越长淬硬层越厚。
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