超精密加工技术详解.ppt

Page * (3)表层破坏层的应力状态 · 在金刚石刀具超精密切削中，工件表面产生塑性变形内层产生弹性变形。切削后，内层弹性恢复，受到表层阻碍，从而使表层产生残余压应力：另一方面，由于微挤压作用，也使得工件表层有残余压应力。所以，在切削后，切削层部分都会有较高的应力。 金刚石刀具超精密切削机理及特点 Page * ①金刚石刀具具有极高的硬度、耐磨性、高温强度和高温硬度 ②加工精度高、表而粗糙度低。这是由于：a．切削刃圆弧半径可以磨的很小，能够切除极薄的金属层；b.金刚石与被切削的铜、铝等金属耐熔附性差，不易形成积屑瘤；C．金刚石导热性好，线性膨胀系数小，切削热引起的加工表面形状和尺寸变化较小。 ③加工表而硬化层的硬度和深度较小。用金刚石刀具切削时金属变形较小，故加工硬化程度较轻。 ④对机床和夹具的精度要求高。金刚石刀具切削应在精密或超精密机床上进行，主轴跳动和机床振动都应很小 ? 金刚石刀具超精密切削机理及特点 2．金刚石刀具超精密切削的特点 * Page * 先进制造技术 2.2 精密和超精密加工技术 二班23号 马跃东 Page * 超精密加工技术是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺，综合应用了机械技术发展的新成果及现代电子技术、测量技术和计算机技术中先进的控制、测试手段等，使机械加工的精度得到进一步提高，使加工的极限精度向纳米和亚纳米精度发展。 概述 Page * 超精密加工技术是衡量一个国家先进制造技术水平的重要指标之一，是先进制造技术的基础和关键。 当代的精密工程、微细工程和纳米技术是现代制造技术的前沿，也是明天技术的基础。 目前，在工业发达国家中，一般工厂能稳定掌握的加工精度是1μm。 概述 Page * ①精密加工 精度为 1—0．1μm， 表面粗糙度值为： Ra0．3—0．03μm； ②超精密加工 精度为 0．1—0．01μ m， 表面粗糙度值为 Ra0．03 — 0．005μm， 又称亚微米加工；（1微米=0.001mm） ③纳米加工 精度高于 0．03 μ m， 表面粗糙度值小于 Ra 0.005μ m。 概述 超精密加工技术的技术指标 Page * 提高制造精度后可提高产品的性能和质量，提高其稳定性和可靠性；促进产品的小型化；增强零件的互换性，提高装配生产率，并促进自动化装配。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 超精密加工技术在尖端产品和现代化武器的制造中占有非常重要地位。例如：对于导弹来说，具有决定意义的是导弹的命中精度，而命中精度是由惯性仪表的精度所决定的。制造惯性仪表，需要有超精密加工技术和相应的设备。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 例如：美国民兵Ⅲ型洲际导弹系统陀螺仪的精度为0.03?～0.05?/h，其命中精度的圆概率误差为500m，而MX战略导弹(可装载l0个核弹头)制导系统陀螺仪精度比民兵Ⅲ型导弹高出一个数量级，从而保证命中精度的圆概率误差只有50～l50m。 如果lkg重的陀螺转子，其质量中心偏离其对称轴0.5nm，则会引起100m的射程误差和50m的轨道误差。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 红外探测器中接收红外线的反射镜是红外导弹的关键性零件，其加工质量的好坏决定了导弹的命中率。该反射镜表面的粗糙度要求达到度Ra0.015～0.01μm。只有采用超精密车削，方能满足上述要求。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 又如，已被美国航天飞机送入空间轨道的，用来摄制亿万公里远星球图象的哈勃望远镜(HST)，其一次镜要求使用直径2.4m，重达900kg的大型反光镜，并且具有很高的分辨率。为此，专门研制了超精密加工(形状精度为0.01μm)光学玻璃用的6轴CNC研磨抛光机。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 大规模集成电路的发展，促进了微细工程的发展，并且密切依赖于微细工程的发展。因为集成电路的发展要求电路中各种元件微型化，使有限的微小面积上能容纳更多的电子元件以形成功能复杂和完备的电路。因此，提高超精密加工水平以减小电路微细图案的最小线条宽度就成了提高集成电路集成度的技术关键。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 从上所述，可以看出只有采用超精密加工技术才能制造精密陀螺仪、精密雷达、超小型电子计算机及其它尖端产品。 概述 超精密加工技术的重要性 Page * 当代多种加工方法所能达到的精度，见图。 概述 Page * 可见，精密工程正在向其终极目标原子级精度的加工逼近，也就是做到“移动原子”。为了达到这一目标，各工业发达国家都在努力冲刺。 日本的ERATO计划中，纳米技术作为其六项优先技术