无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用.pdfVIP

No．82081·2090 航 空 学 报 2014V01．35 Aug．25 ActaAeronauticaetAstronauticaSinica ISSN1000．6893CN11-1929／V buaa．edu．cahkxb@buaa．edu．ca http：Hhkxb 无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣 环境下的应用 尤政*，王伟忠，陈硕，阮勇 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室 微纳制造、 器件与系统协同创新中心，北京 100084 摘要：燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参 数(如温度、压力等)的实时监测，可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起 来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势，特别是在恶劣工作 条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中，应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传 感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论，并对无线MEMS传感 系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。 关键词：燃气轮机；无线MEMS传感系统；实时监测；恶劣环境；高温；高压 中图分类号：V241．7；U464．3文献标识码：A 文章编号：1000—6893(2014)08—2081—10 现代能源装备制造业的迅速发展使其装备朝 严重事故。因此迫切需要对燃气轮机工况(温度、 着大型化、复杂化和极端化的方向发展，这直接导 压力等)进行实时监测，通过分析当前环境条件下 致了以燃气轮机为代表的大型机电设备工况监测 的监测数据，判断和预测燃气轮机中部件性能以 环境的要求进一步提高。目前，新一代燃气轮机 及其对整体机组性能的影响。作为对机组进行故 初温已达1427℃[I，而传统的硅基传感系统无障预测、排查、设备维护和改进、提高效率等的重 法直接长期在500～1000℃的极端工作环境下 要依据。同时，温度、压力等的实时监测还可为燃 工作，对燃气轮机的温度、压力等工况进行实时监 气轮机内部温度场和压力场数学模型的建立和仿 测。因此，无法对燃气轮机等大型能源设备的使 真提供实测数据口“，进而验证理论模型的正确 用效率的提高与故障诊断提供足够的信息支持， 性，进一步优化燃气轮机结构。 ElectroMechanical 严重影响了其使用效率的提高与故障诊断。 微机电系统(Micro Sys— MWtem，MEMS)技术是微／纳米技术的一个重要方 Pisano团队的有关研究表明：一台200 的大型燃气轮机若提高2％的效率，则每年可多 面，它主要研究惯性、信息、能源和生化等器件与 生产35GW·h的能量，可节省350万美元(每微系统。MEMS技术具有一般意义上的微型化、 kW·h计0．1美元)Eel。而且燃气轮机在运行过 低成本、集成化和低功耗等特点。随着MEMS技 程中一旦发生故障就会造成很大损失，甚至发生 术的发展，基于碳化硅(SiC)、氮化铝(A1N)等材 08：58 收稿日期：2014—03—21；退修El期：2014—04—08；录用日期：2014一04·25；网络出版时间：2014—05—07 tml 网