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18 9 Vol. 18 No. 9 第 卷 第 期 电 机 与 控 制 学 报 2014 9 Electri c Machines and Control Sep． 2014 年 月 有限长迭代学习控制及在扫描光刻中的应用 ， 姜晓明 陈兴林 ( ， 150001) 哈尔滨工业大学控制科学与工程系 黑龙江哈尔滨 : ， 。 摘 要 提出一种有限长迭代学习控制策略 用来减小扫描光刻系统的预扫描时间 首先给出扫描 ， ; 光刻系统的结构和扫描轨迹 并提取系统在扫描方向的运动控制模型 其次通过闭环整定得到系统 ， ， 的脉冲响应系数 并基于名义系统的优化指标进行离线运算 得到非因果迭代学习控制律的学习系 。 ， ， 数 为减小迭代学习控制律对扫描周期的依赖性 以学习矩阵的主对角线为中心 提取截短的有效 ， 。 ， 学习系数 构成有限长脉冲响应学习控制律 此外还给出 了有限长学习控制律的收敛性证明 并对 。 ， : 学习控制律的鲁棒性进行 了讨论 最后将上述方法应用于扫描光刻 实验平台 实验结果表明 有限 长迭代学习控制律可以有效地减小扫描光刻系统的预扫描时间 。 : ; ; ; ; 关键词 迭代学习控制 扫描光刻系统 有限长脉冲响应 收敛性 鲁棒性 中图分类号:TP 273 文献标志码:A 文章编号:1007－ 449X (2014)09－ 0080－ 07 Finite iterative learning control and its application to wafer scanner system JIANG Xiao-ming