基于晶闸管交流调压技术的ICP光谱激发源研究教程分析.pptVIP

基于晶闸管交流调压技术的ICP光谱激发源研究 河北大学电子信息工程学院 1、原子发射光谱及其激发源 1.1 原子发射光谱分析检测原理 分析仪器在许多学科和高新技术领域中发挥着重要的作用。原子发射光谱分析是其主要的分析方法之一。 原子发射光谱分析：在通常情况下，原子处于能量最低的基态，基态原子在外界能量（如电能、热能等）作用下，跃迁到激发态。然后以光子的形式释放出能量，由激发态跃迁到较低的能态或基态，同时发射出特征谱线。不同的元素具有不同的特征谱线。根据特征谱线，可分析试样中所含的化学元素及其含量。 原子发射光谱在地质勘探、冶金、环保、商检等领域都得到广泛应用。 1.2常用发射光谱激发源及其特点 2、电感耦合等离子体（ICP）激发源 2.1 等离子体概述 等离子体(Plasma)一词首先由兰米尔(Langmuir)在1929年提出，目前一般是指电离度超过0.1％的被电离气体。等离子体是由大量带电粒子组成的非凝聚态系统。因为电离过程中正离子和电子总是成对出现，所以等离子体内部正离子和电子的总数大致相等，总体来看为准电中性。故可以把等离子体形象的定义为：“正离子和电子的密度大致相等的电离气体”。 等离子体可以按其温度分为高温等离子体和低温等离子体两大类。实际应用中又把低温等离子体分为热等离子体和冷等离子体。 2.2 ICP激发源的特点 电感耦合高频等离子体激发源是20世纪60年代研制的激发源，由于它具有优异的性能，70年代后迅速发展并获广泛应用。 ICP激发源的主要优点是： (1) 蒸发、原子化和激发能力强，等离子体中心通道温度一般为4000~6500K，具有较高的电子密度和激发态氩原子密度，即使难熔难挥发样品粒子，亦可进行充分的挥发和原子化，并得到有效的激发。 (2) 稳定性好，具有良好的分析精密度。 (3) 由于环状结构的存在，自吸收效应小，分析校正曲线的范围可达到5~6个数量级。 ICP激发源的缺点： (1) 设备费用和运转费用比火焰、电弧和火花激发源高，Ar耗量大。 (2) 一般只适用于溶液样品分析，固体和粉末样品直接分析较困难，或者精密度、准确度较差。 特别需要指出的是，目前我国生产的ICP激发源仍与国外产品有一定差距。主要体现在长期和短期精密度指标偏低。 ICP 激发源装置由高频发生器、雾化器和等离子炬管三部分组成。 等离子炬管由三层同心石英玻璃管组成，三层石英管均通以氩气。外层以切线方向通入冷却用氩气，用于稳定等离子炬且冷却管壁以防烧毁；第二层炬管内通入工作氩气，用以点燃等离子体；内层以氩气作为载气，将试样气溶胶引入等离子体中。 ICP是利用感应加热原理，在高频磁场作用下，使流经石英管的气体电离而形成能自持的稳定等离子体。 3、ICP激发源研发技术路线及技术难点 3.1射频功率驱动部分方案论证选择 按射频功放级电路激励形式不同，射频功率电源可以分为自激式和他激式两种。 自激式射频功率源采用自激振荡方式产生射频功率，其主要特点是电路简单、成本低、输出负载匹配范围大、振荡频率稳定性较低等； 他激式射频功率电源通常石英晶体振荡器产生振荡信号，由信号放大电路放大后驱动功率输出级，其主要特点是电路复杂、成本高、输出频率稳定性高、可用同轴电缆远传输出的射频能量、一般需要通过射频阻抗匹配器驱动负载。 综合考虑，本设计射频功率源拟采用自激式电路。 按所使用的高频功率器件不同，射频功率电源可分为晶体管（V-MOS管）式和电子管式。晶体管式射频电源功率放大部分采用高频大功率VMOS管等半导体器件，其特点是体积小、效率高，过载能力差，随着高频大功率器件性能提高及其价格的降低，使用将会逐渐增多；电子管式射频源电路效率低，属于经典的电路形式。因为电子管式射频功率电路成熟、过载能力强等特点，目前应用仍较广泛。本研究采用电子管作为射频功率振荡器件。 3.2 交流调压电路的方案比较及选择 射频振荡电路采用功率电子管，控制电子管阳极电压即可控制其输出射频功率。本研究采用三相交流电源，经交流调压后送至升压变压器初级，升压变压器次级输出电压经整流滤波后送至高频功率电子管阳极。通常用于ICP激发源的交流调压方法主要有以下三种。 (1)自耦变压器调压。这种调压方法由于采用了自耦变压器，体积