ch霍尔式传感器分析报告.ppt

* * 线性型集成电路是将霍尔元件和恒流源、线性差动放大器等做在一个芯片上，输出电压为伏级，比直接使用霍尔元件方便得多。较典型的线性型霍尔器件如UGN3501等。 线性型三端 霍尔集成电路 （2）线性型集成霍尔传感器 * * 线性型霍尔特性 右图示出了具有双端差动输出特性的线性霍尔器件的输出特性曲线。当磁场为零时，它的输出电压等于零；当感受的磁场为正向（磁钢的S极对准霍尔器件的正面）时， 输出为正；磁场反向时，输出为负。 * * 4 霍尔式传感器的应用 根据霍尔电势表达式UH=KHIB，决定了霍尔传感器可用于下列情况： I=常数，则可测任意能转换为磁感应强度变化的量，如磁场、位移、角度、转速、加速度等； B=常数，则可测任意能转换成电流变化的量； IB均变化，可作乘、除、平方、开方等运算。 * * 4 霍尔式传感器的应用 从a端通入电流I，根据霍尔效应，左半部产生霍尔电势VH1，，右半部产生霍尔电势VH2，其方向相反。因此，c、d两端电势为VH1-VH2。如果霍尔元件在初始位置时VH1=VH2，则输出为零；当改变磁极系统与霍尔元件的相对位置时，即可得到输出电压，其大小正比于位移量。 霍尔式位移传感器 * * 4 霍尔式传感器的应用 如左图所示，当压力发生变化时，膜盒4会相应发生膨胀或收缩，通过杠杆3带动霍尔元件1，在永久磁铁内运动，根据霍尔元件位移原理，霍尔元件1便会产生反映压力变化的霍尔电势。 霍尔压力传感器 * * 在被测转速的转轴上安装一个齿盘，也可选取机械系统中的一个齿轮，将线性型霍尔器件及磁路系统靠近齿盘。齿盘的转动使磁路的磁阻随气隙的改变而周期性地变化，霍尔器件输出的微小脉冲信号经隔直、放大、整形后可以确定被测物的转速。 S N 线性霍尔 磁铁 4 霍尔式传感器的应用 霍尔转速表 * * 当齿对准霍尔元件时，磁力线集中穿过霍尔元件，可产生较大的霍尔电动势，放大、整形后输出高电平；反之，当齿轮的空挡对准霍尔元件时，输出为低电平。 4 霍尔式传感器的应用 霍尔转速表 * * 霍尔转速传感器在汽车防抱死装置（ABS）中的应用 若汽车在刹车时车轮被抱死，将产生危险。用霍尔转速传感器来检测车轮的转动状态有助于控制刹车力的大小。 带有微型磁铁的霍尔传感器 钢质 霍尔 4 霍尔式传感器的应用 5.2、霍尔式传感器 1 霍尔元件的工作原理 2 不等位电势的误差及补偿 3 集成霍尔传感器 4 霍尔式传感器的应用 * * 霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。1879年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应, 但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。随着半导体技术的发展, 开始用半导体材料制成霍尔元件, 由于它的霍尔效应显著而得到应用和发展。 霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、振动等方面的测量。 霍尔传感器 * * 1 霍尔元件的工作原理 1.1 霍尔效应、霍尔电势、霍尔系数 1）霍尔效应 将一块通有电流I的导体薄片放在磁感应强度为B的磁场中，B的方向垂直于I，则在垂直于电流和磁场的薄片两侧， 产生一个正比于电流和磁感应强度的电势，这一物理现象称为霍尔效应。 * * 1 霍尔元件的工作原理 当磁场垂直于薄片时，电子受到洛仑兹力的作用，向内侧偏移，在半导体薄片c、d方向的端面之间建立起霍尔电势。 c d a b * * 1 霍尔元件的工作原理 2）霍尔电势、霍尔系数 洛仑兹力 即有： 霍尔电场作用力 故可得： * * 1 霍尔元件的工作原理 2）霍尔电势、霍尔系数 因为流过薄片的电流为： 则得到N型半导体的霍尔电势为： 若是P型半导体，则霍尔电势为： * * 1 霍尔元件的工作原理 2） 霍尔电势、霍尔系数 定义霍尔系数为： 定义霍尔系数为： 则有： 霍尔系数反映了材料霍尔效应的强弱，其大小取决于载流子密度。金属材料的自由电子浓度n很高，因此霍尔系数很小，相应地霍尔电势极小，故不宜做霍尔元件。 * * 霍尔效应强，则RH值大，因此要求霍尔片材料有较大的电阻率和载流子迁移率。一般金属材料载流子迁移率很高，但电阻率很小；而绝缘材料电阻率极高，但载流子迁移率极低。故只有半导体材料适于制造霍尔片。 1 霍尔元件的工作原理 2）霍尔电势、霍尔系数 * * 1 霍尔元件的工作原理 3）霍尔元件的灵敏度系数 由霍尔电势： 定义灵敏度系数： 或 灵敏度系数表示单位电流和单位磁场作用下，开路霍尔电势的大小，它与元件的厚度成反比，霍尔片越薄，灵敏度系数就越大。通常薄膜霍尔元件的厚度约为1μm左右，但同时要兼顾元件的强度和内阻。 * * 1 霍尔元件的工作原理 4）霍尔电势的一般表达式 若磁感应强度B不垂直于