静电防护培训要点详解.pptVIP

静 电 防 护 （Electrostatic Discharge ESD） 制程为什么要进行静电控制 避免碎屑的吸附。 减低元件被破坏的机率。 减少产品失效或者运作不稳定。 减少静电放电造成损失。 静电对IC造成伤害 人体平常所感应的静电电压在2KV以上，通常是由于人体的轻微动作或与绝缘物的磨擦而引起的。也就是说，倘若我们日常生活中所带的静电电位与IC接触，那么几乎所有的IC都将被破坏，这种危险存在于任何没有采取静电防护措施的工作环境中。静电对IC的破坏不仅体现在电子元器件的制造工序当中，而且在IC的组装、远输等过程中都会对IC产生破坏。 静电对IC造成伤害 隐蔽性 ：除非发生静电放电，人体不能直接感知静电，但发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为2~3kv，所以静电具有隐蔽性。 潜在性 ：有些会受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给IC器件造成内伤而形成隐患。因此静电对IC的损伤具有潜在性。 静电对IC造成伤害 随机性 ：IC什么情况下会遭受静电破坏呢?可以这么说，从一个IC芯片产生以后一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性，其损坏也具有随机性。 静电对IC造成伤害 复杂性 ：静电放电损伤的失效分析工作，因微电子IC产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费财，要求较高的技术并往往需要使用高度精密仪器，即使如此，有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别；使人误把静电放电损伤的失效当作其它失效，这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以分析静电对IC的损伤具有复杂性。 静电对IC造成伤害 静电是怎样产生的 当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷如电子转移到另一个物体使其带正电，而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电。 --(电荷分离产生静电) 。 電荷分離產生靜電 工業生產中，靜電常伴隨各種作業過程中（如管路輸送、容器中傾出或流入容器中、攪動、混合、噴出、乾燥、粉碎、篩選、滾輪傳送、剝離、人員走動）。物質間相互摩擦、傳導或感應而產生，至於製程的設備或產品是正帶電或負帶電則需參考物質帶電序列表。 製程帶電的起因用最微觀的角度來看待，皆是能量的交換使電子移位。而兩物質之接觸、分離是最大的主因。在生產製程中即多稱其為「剝離帶電」、「磨擦帶電」。 摩擦带电 定義：當兩個不同的物體互相摩擦時，一些電子從一個物體轉移到另一個物體，使兩物體皆帶電，此種方式稱為摩擦带电 結果：較易失去電子的物體帶正電，另一物體獲得電子則帶負電。 摩擦带电 摩擦带电 剥离带电 两个紧密接触的物体，在外力作用下迅速分离一些電子從一個物體轉移到另一個物體，使兩物體皆帶電，此種方式稱為剥离带电 結果：物体較易失去電子的部分帶正電，另一部分獲得電子則帶負電。 电荷累积 一般人造聚合物具有高绝缘、高电阻的特性，能蓄积静电荷很长的一段时间，因其性能优异，已被大量且广泛的使于各种生产或制造之原料，设备与组件中。 导体设备（如：容器、管路、漏斗、手推车、甚至人体）对地绝缘，因而累积大量静电荷。 高绝缘的原料（如：液体、粉体、膜、纤维等）亦会累积大量的静电荷。 静电危害方式 静电危害流程图 静电放电方式 静电放电 蓄積在導體上的電荷，會在一次放電中將能 量完全釋放，是常見靜電危害產生的原因。 靜電放電可概分為火花放電、電暈放電、刷 狀放電、射狀放電等形式。 不同放電形式的發生，與放電的電極形狀、 材質距離、阻抗、數量有密切的關係，同時 亦會產生不同的危害。 静电防护警告标示 静电防护警告标示 静电防护原理 静电防护 静电防护的方法 接地 將所有導體連接在一起，然後接地，並保持低的接地電阻，使導體上的電荷迅速向大地散逸，不致引起靜電放電的危害。 人员接地：人体是最普遍存在的静电危害源。对于静电来说，人体是导体，所以可以对人体采取接地的措施 设备接地：自动装配设备使用导轨、传动带、滑道、元件运送器和其他装置来移动器件使之按工艺要求的方向运动传动带和运送系统上可能会积累大量电荷，对设备进行接地可引导静电向大地逸散。 静电防护的方法 加湿 相对湿度（RH）对表面积累电荷的性能产生直接影响。相对湿度越高，零部件储存电荷的时间就越短，表面电荷减小（因为相对湿度增加）的方式可通过复合或传导，当相对湿度增加，空气的电导率也随之增加。在高濕度環境中，物質表面具親水性(Hygroscopicity)，容易吸附