多晶硅熔化定向凝固炉课程.docVIP

多晶硅熔化定向凝固炉(DSS)结构说明 一????? 设备用途及简介 本设备为立式结构,具有高真空?充气及高温熔化定向凝固等功能?是多晶硅原料熔化及成锭的的优选设备?在添加等离子加热源后可满足部分提纯要求?设备具有自动控温?快速升温冷却?快速升降取锭?超压保护等功能?同时设有操作平台方便操作及维护? 一????? 主要技术参数 1?????????? 电源额定容量:160KW 2?????????? 中频感应加热或电阻加热(可选) 3?????????? 最高温度:1600℃ (90kg) 4?????????? 控温精度:±3℃(热电偶) 5?????????? 进出坩埚方式:炉底升降 6?????????? 炉底最大位移:1000mm 7?????????? 极限真空度:≤6.67*10-3Pa(5*10-5乇) 8?????????? 定向凝固速度:5-25mm/小时 二?结构说明 采用立式炉体,由炉体?加热感应器(发热体选择石墨或电阻)加热及保温层?定向结晶器及移动升降机构?操作平台?充气系统?电源及控制系统?真空系统等组成? 3.1炉体 炉体由炉盖?炉身?炉底等组成? 3.1.1炉盖 炉盖为双层水冷封头结构,内层不锈钢(材料304或316L)精密抛光,外层碳钢防锈钢?炉盖上设有观察孔?炉侧热电偶?炉与炉体用螺栓固定,维护时可打开?为提高设备的安全性,防止漏水爆炸,炉盖上设有防爆孔,具有过压泄压及自动回复功能?为了便于观察坩埚液面温度,在炉盖中间设有旋转观察窗,此观察窗有多片玻璃组成,如有一片玻璃污染可在真空或保护气氛下旋转到其它玻璃片继续观察?在炉盖上可选择添加等离子体加热源及升降机构满足部分提纯的功能?炉盖上设有充/放气吸阀门? 3.1.2炉身 炉身采用双层水夹层结构,内外桶与上法兰焊接,内层不锈钢(304或316L)抛光,外层碳钢防锈处理,炉身设有抽气口?感应器电极孔及充气管孔等,充气管内与坩埚底的进气管联接,充气管外与充气系统联接?炉身对应感应器的中间部信设有 一控温热电偶,热电偶尽量靠近坩埚壁,热电偶材料选用钨铼型,配合温控仪表实现自动控温? 3.1.3炉底 炉底为采用双层水封头结构,内层为不锈钢(材料304或316L)精密抛光,外层碳钢防锈,炉底与炉身之间为活动联接,炉底升降采用液压方式?炉底中间设有密封座及二充放气孔,其中一个为备用,密封座设有密封圈及导向定位环?炉底上还设有热电偶座,热电偶座由导线联接到控制柜上的仪表? 3.1.4炉底升降系统 炉底采用液压方式,由二液压缸带动炉底进行升降,液压系统具有?节流调整及液压锁功能? 3.2加热感应器?发热体及保温层(石墨件用户自备) 3.2.1感应器为异形铜管线圈,多圈圆形结构,线圈通过绝缘柱与炉体联接,线圈的引出通过电极与铜排联接? 3.2.2发热体为石墨环,支承在绝热材料上? 3.2.3保温层采用硬碳毡组成,支承在绝热材料上?坩埚上部的保温层中间开有排气孔,坩埚周围的保温层包裹住石墨发热体? 3.3定向结晶器及移动升降机构 3.3.1定向结晶器为纯铜制成,可拆卸,定向结晶器内通水冷却可拉开炉底与加热区中心的温差?结晶器设有一支热电偶,与炉底上的热电偶座联接? 3.3.2移动升降机构,移动升降机构分快慢二种速度,快速为结晶时使用,采用变频电机?变频控制器?减速器传动丝杆及导向柱套等组成?可保证平稳升降,移动速度5-25mm/小时可调,位移显示由直接电位器(或光栅尺)实现? 3.4操作平台 3.4.1操作平台由型钢?防护栏?防滑板?扶梯等组成?便于操作人员维护及装卸料操作? 3.5充气系统 由3路充气管?3个电磁阀充气阀?3个调节针阀?3个流量计等组成,可手动调节进气量? 3.6电源及操作系统 3.6.1电源采用可控硅中频变频机组,由整流器?逆变器?电抗器?隔离变压器及电容器等组成,控制回路具备过压?过流?断水等报警功能并自动切断加热?温度控温采用热电偶,配合程序登记表调节中频电压自动实现炉温的程序升/降温控制?系统还保留手动升温的功能,以便需要时使用? 3.6.2操作系统 由温度控制仪表及热电偶组成温度控制回路,直接控制直流电压及功率,实现温度死循环控制? Acknowledgments The authors would like to thank Johns Hopkins University for the TC-1 cells. This work was supported by a National Health Research Institutes intramural grant (IV-103-PP-22) and grants from the National Science Council, which were awarde