第15 章 故障解析技術タスクフォース -.pdfVIP

半導体技術ロードマップ専門委員会 平成 17 年度報告 第 15 章 故障解析技術タスクフォース 15-1 はじめに 故障解析技術タスクフォース(故障解析ＴＦ）は 2003 年 12 月から活動を開始した。2003 年度はロードマップ のタタキ台を短期間で作成し、提示した。2004 年度は故障解析ＴＦの基盤固めを目的として、各種テーマによ る議論を行うとともに、相互のベンチマークの基礎となる情報を得るためのアンケート調査を実施した。2005 年 度は、故障解析 TF の基盤固めのための議論を継続すると共に、2003 年度に作成したロードマップの見直しを 行なった。また、新たな活動として標準化ＳＷＧを発足させた。以下、この順に報告する。なお、随所に登場す る略語は一括して章の最後に「付録」として、そのフルスペルなどを記した。また、印刷物は白黒印刷のため、 色分けした個所は CD 版で確認されたい。 15-2 基盤固めのために議論した内容の概要 議論内容は多岐にわたる。 議論の対象となる故障解析技術とその応用範囲の対応を図表 15-1 に概要を、 図表 15-2 に詳細を示す。朱書きしたところは今回追加・修正した個所である。また、黄色で示したものは 2006 年 2 月現在開発途上または未普及のものである。 図表 15-1 故障解析 TF で対象とする故障解析技術とその応用一覧：概要 以下、議論した順に列挙する。（ ）内は講演者または話題提供者である。 ・顕微ラマン、近接場顕微ラマンを用いた応力測定：基礎と最新成果まで （杉江 隆一：東レリサーチ） ・固浸レンズについて（寺田 浩敏：浜ホト） ・裏面故障解析におけるFOSSIL、SIL プレートの適用効果について（小山 徹：ルネサス） ・SIL データの比較(C 社と H 社) （則松 研二：東芝） ・光を用いた故障解析技術の昨日・今日・明日 （二川 清：NEC エレ） ・SEM 式プロービングの現状と今後 （三井 泰裕 ：日立ハイテク) ・SEM 式プロービングの解析事例 （矢野、柳田、水野：ルネサス） 265 半導体技術ロードマップ専門委員会 平成 17 年度報告 ・ナノプロービング技術の基礎検討 （井手 隆：ＮＥＣエレ） ・ナノプローブ評価状況報告 （留目：東芝マイクロ、今永：東芝） ・メカニカルプローブを用いた不良解析アプリケーション（野久尾 毅 ：日本電子) ・EBAC 解析装置の開発と適用 （嶋瀬 朗 ：ルネサス） ・光照射ダイナミック解析装置の概要 （寺田 浩敏：浜ホト） ・光照射によるダイナミック解析事例 （伊藤 誠吾：富士通） ・光照射ダイナミック解析によるディレイ故障解析事例 （和田 慎一：ＮＥＣエレ） ・故障診断技術の現状と課題 （佐藤 康夫：STARC) ・AFP （Atomic Force Probe)評価状況報告 （龍 康夫：東芝ナノアナリシス） ・ナビゲーション （寺田、堀田：浜ホト） ・解析ナビシステムの開発と適用事例 （嶋瀬 朗：ルネサス） ・故障解析におけるCAD ナビシステムの現状 （中島 義弘：アストロン） 図表 15-2 故障解析 TF で対象とする故障解析技術とその応用一覧：詳細 15-3 ロードマップ見直し 15-3-1 故障個所絞込み関連 絞込み関連での見直し結果を記す。図表 15-3 はその対象となる「物理現象を利用した故障個所絞込み技 術一覧である。本 TF では故障診断の中身は議論しないため、「物理現象を利用した」ものが議論の対象とな る。 266 半導体技術ロードマップ専門委員会 平成 17 年度報告 ロードマップではこれらの手法を光検出、光照射、電子照射、イオン照射、固体プローブというカテゴリーに 分類し、ITRS2005 に示された MPU/ASIC M1