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导模共振滤光片波导近似分析 王振华，吴永刚，陈乃波，凌磊婕， 夏子奂 (同济大学，精密光学工程技术研究所，上海200092) 摘要 本文从等效折射率理论及薄膜波导的本征值方程出发，研究了导模共振 光栅滤光片的波导近似分析方法。分别以单层、四层膜系导模共振光栅结构为例， 将光栅等效为均质薄膜，通过求解波导本征值方程，研究了光栅层厚度、周期、 占空比，四层膜系设计中缓冲层厚度、折射率改变对共振波长的影响。与严格的 耦合波理论计算结果相比较，导模共振滤光片波导近似理论的计算误差在 0．059％到1．94％范围内，两种方法所得结果较为吻合。 关键词导模共振；光栅；等效折射率；本征值方程 引言 导模共振效应是指亚波长光栅在特定的参数条件和入射条件下出现的一种 独特的衍射现象r表现出窄带、高衍射效率，极端的光谱敏感性和角度敏感性。 这些独特的性质与传统的二元光学元件不同，在众多的光学应用领域中有着潜在 的应用价值。利用导模共振光栅的衍射特性，可以在预期的波段上获得接近100％ 的反射率。如果结合具有减反射特性的膜层，通过合理选择光栅结构参数，可以 得到窄带的或宽带的滤波器，这种滤波器在较宽的波长范围内具有任意低的、对 称的旁带【H】。如果结合具有高反射特性的多层膜结构，可以利用光栅的共振特 性来设计制作具有高透过率的滤波器，其同样具有窄带宽和对称的、低的旁带t4l。 利用导模共振效应的高衍射效率和窄带性质可以设计制作高反射、高透射以及窄 带滤波的光学元件。导模共振效应也可用于制作高效、低能耗的开关元件。在集 成光学中，这些元件可被应用于实现窄线宽的激光器件。所以，近年来对导模共 振特性的研究也是光学界的热点之一15堋。 对于亚波长光栅滤光片，入射介质和基底中只有零级衍射级次存在，其它高 级次的衍射波消失，能量不会分配到其它高级次的衍射波中；利用严格的耦合波 理论可以精确计算此结构的光谱特性。为了实现良好的滤光特性、选择合适的结 掏参数，奉文从亚波长光栅、有效媒质理论以及薄膜波导理论出发，将波导光栅 等效为均质平板波导，结台波导的本征值方程，研究了垂直入射时单层、四层导 模共振光栅共振峰位置的确定、光栅结构参数的选择以及多层膜系结构设计之问 的关系。 1．原理 f a。 ]【覃】口口呖ng d。 匕?囊二_L!“。_曩“刊Bufferlair 匮盈整翻勰紧苫… ■。 o： ．Z 圈I 带缓冲屋的导模共振光栅蒋光片结构示意臣． 对于图l所示的单层波导光栅结构，如果光栅层的调制度△s}PI,，可以将 改光栅结构看成被调制了的平面波导。在周期A(^的情况下，考虑入射波长 的变化对等效折射聿的影响，可队得}0光栅层对n州偏振光的等效折射率分 别为‘m ’J·『m¨毒，：fI‘rI^w—m￡Ff!Ff ‰-I，+；，_¨．”一_．1一。i_i‘二】：f ㈨f““ 。 等效均匀波导模型对一般的多层波导光桎结构同样适用，以图1结构为例， 假设共有M层，睬层为光橱层外，其余各层均为均匀膜层。并且该结构中至 少有一层(可以为光栅屠，也可以为均匀麒层)的折射塑大于表面层和基底层的折 射车。对于单层波导光栅，光栅层可被近似处理为一均匀瞧层，折射率为光糯屠 介质的平均折射率，同样，多层的波导光栅结构也可以近似为一等效的多层均匀 波导。对于rE偏振志的入射波，多层波导结构的本征值方程如下11I： 只4+￡￡B+c十只D=o (1) 其中A，B，C，D为多层波导薄膜的特征矩阵分量，与各膜层厚度有关： ∞铋毪] ∞ Til