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浅谈莫尔条纹两种扫描方法对细分影响 　　摘要：莫尔条纹从广义上讲是指具有一定规律的图案经过光线照射后产生的具有新规律的周期性图案。其中，利用光栅的光学调制作用产生的莫尔条纹叫做光栅莫尔条纹，光栅莫尔条纹技术从二十世纪中期开始应用于实际测量。光栅尺需要对两路正交的莫尔条纹光电信号进行细分达到高分辨率。不同的扫描方式对莫尔条纹光电信号的信号质量有较大影响。本文主要基于光栅尺的莫尔条纹测量原理和细分方法，对比单场扫描和四场扫描两种方式的优缺点。 中国论文网 /8/view-7183845.htm 　　关键词：莫尔条纹 细分误差 扫描方法 　　中图分类号：TP274 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2015）11-0000-00 　　Abstract： moire fringes are generally referred to as periodic patterns with a certain regular pattern after the irradiation of a certain pattern. The moire fringes generated by the optical modulation of the grating are called grating moire fringes， and the moire fringe technique is applied to the actual measurement in the middle of twentieth Century. The grating ruler needs to be subdivided to achieve high resolution by the two channels of the two channels. Different scanning modes have great influence on the signal quality of Moire fringe photoelectric signal. In this paper， the principle and subdivision method of moire fringes measurement based on grating ruler is mainly based on the comparison of two methods of single field scanning and four field scanning. 　　Key words： moire fringe subdivision error scanning method 　　光栅莫尔条纹，是利用一对光栅副（两个光栅）产生的黑白相间的条纹，白的地方透光强，黑的地方透光弱，是光线经过两个光栅的调制作用，经过干涉和衍射形成的具有正弦规律的条纹。光栅莫尔条纹是光电编码器完成位移放大的理论基础，其中按照莫尔条纹移动方向，可以分为横向摩尔条纹、纵向莫尔条纹，基于双光栅的光栅尺通常采用横向莫尔条纹。莫尔条纹用来精确计算微小位移，测量位移的精度的影响因素可以分为两个部分，一个是光栅的制作精度，另一个是莫尔条纹的信号质量[1]。因为采用莫尔条纹的信号质量由两部分组成，一部分可以认为是从出发点开始，经过的整个周期的数目，另一个部分是不满足一个整数周期的，需要通过对单周期的信号进行细分[2]。莫尔条纹的扫描方式就是把周期分布的光强信息转换成电信号的过程，该过程中涉及到莫尔条纹光电信号的质量问题，本文通过叙述光栅尺莫尔条纹测量原理以及细分方法，根据影响信号质量的因素比较了四场扫描和单场扫描两种扫描方式的优缺点。 　　2 莫尔条纹测距 　　2.1 测距原理 　　横向莫尔条纹是指指示光栅和标尺光栅的栅线相互平行，两者沿着垂直栅线位置移动过程中使投射光出现明暗周期变化的条纹。根据遮挡原理，当指示光栅和主光栅的条纹完全重合时，经过主光栅的光线，能够全部的经过指示光栅，即此时照射在探测器上的光强最强；当指示光栅的透光部分正好与主光栅的不透光部分重合时，光线照射在探测器上的光强最弱；在两者之间出现光强在最弱和最强之间的连续变化。如果指示光栅和标尺光栅采用相同光栅常数，探测器上得到的光强变化周期与光栅常数相等。横向莫尔条纹信号周期为光栅刻画周期，其位置信息由两部分组成，如式（1）所示，其中为相对位置信息，为光栅常数，为经过的整数光栅周期的个数，为非负整数，是不足整数周期的相对位移量。 　　（1） 　　上式中，可以通过对每个周期发出的单个脉冲的脉冲数，而则是对一个光栅常数距离内的位移量的计算，需要在一个周期内进行细分计算。 　　2.2 细分原理