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SUNIST装置的真空系统 何也熙 2000年8月 真空系统包括真空获得、真空室总压和剩余气体分压测量、真空室壁处理和充气等系统。 在认识第一壁对等离子体放电的影响及如何调控这一影响方面，未知因素极多，这已成为磁约束聚变研究中的一个‘永恒的主题’。在规划SUNIST的真空系统时这也同样应该成为我们注意的重点。聚变装置真空抽气机组在超高真空段要有尽量大的抽速（特别是对最危害等离子体放电的水、CO等）和尽量高的本底真空度，有利于保持清洁的第一壁表面状态、较大范围的调节壁的再循环特性，同时在高于10-1 Pa的高气压段也应有尽量大的抽速（特别是对水，碳氧化物等），才能够确保在第一壁放电清洗过程中把脱离器壁的杂质气体尽量多的排出。 充气系统按控制程序（或通过气压、或密度信号的反馈）向装置提供高纯工作气体，一般是氢、氘、氦和硼或硅化物，作为等离子体实验的工作气体或放电处理的介质及沉积表面硼或硅化薄膜的气体。在装置建设和运行的初期，至少要配备氢和氦两种气体，最好能够建立现场薄膜沉积手段。 壁处理解决的是减少等离子体中轻杂质含量，尽量降低等离子体的有效Z。其主要手段包括：真空烘烤、辉光放电清洗、放电锻练和硼或硅化薄膜的沉积。长时间的真空烘烤和辉光放电是控制真空室材料整体和表面杂质含量的必要的处理手段；放电锻练着重清洗等离子体经常直接接触的壁表面，使装置能够尽快地进入重复放电实验状态；现场第一壁表面硼或硅化薄膜的沉积是在等离子体实验中控制氧杂质、调控壁与等离子体相互作用的极为重要的手段，对于小装置和相对复杂的真空条件而言其作用将更为明显。 真空测量是准确认识装置的真空运行条件、判断真空清洗效果的基本依据，包括有总压和剩余气体分压测量。 SUNIST装置真空系统的框图如下： 真空获得系统 由于采用了交叉氟橡胶密封，SUNIST的真空室环境复杂化。为此，超高真空主泵采用200毫米通径的涡轮牵引复合泵，选用复合泵的原因在于这种泵型在SUNIST真空室清洗放电的高气压段仍有相当高的抽速；在复合泵中选择200毫米的通径是希望大抽速的真空抽气系统有更强的调控真空室表面与等离子体相互作用的能力。 组成SUNIST装置真空获得系统的还有：200毫米通径的超高真空插板阀、16升/秒抽速的旋片式机械泵、真空隔断阀和放气阀。 抽气机组通过抽气盒与真空室连接，复合泵通过不锈钢波纹管与隔断阀、机械泵连接。用塑料管将机械泵的排气引向室外，以防止浓重的油烟或其他有害气体积聚在实验室内。 充气系统 充气系统应可用手调或反馈或予程序等方式向装置真空室充入相关气体。可能被充入的气体包括：工作及锻炼放电气体 (主要是氢，也可能是氘或氦；清洗放电气体(主要是氦，也可能是氢或氘；现场膜沉积气体(主要是硅烷类气体，以现场沉积硅化物膜为主。 为此充气系统包括了三条充气线：超纯氢、超纯氦和超纯硅烷，气源分别是：超纯氢发生器、超纯氦及硅烷钢瓶。各充气线还包括以下部件：调节阀和隔断阀；气罐和测量气罐压力的电阻规、压力表，为气罐排空处理用的超高真空角阀；压电控制阀和相应的控制系统；真空室充气阀。 充入气体所含的各种杂质中，对真空质量影响最大的是水和油，它们会最终形成对等离子体最具危害的氧和碳。充入气体质量的要求与充气方式有极强的关系，如放电时采用快脉冲方式，因没有反馈充气的长期积累效应，对超纯氢发生器的要求也就可以较后者低。当然，如果能够采用其它的有效的油和水的处理手段，对气源的要求也就可以相应的降低。 由于有采用快脉冲充气的需要，氢充气线使用的压电控制阀就必须具有极好的参数重复性，需要采用国际上脉冲充气普遍使用的维可压电阀。其余两阀是在放电清洗和膜沉积处理时稳态运行的，拟采用国产压电阀以降低成本。 真空室壁处理系统 受控核聚变装置的真空系统的与众不同的运行特性，在于真空室第一壁在等离子体不同成分、不同方式的作用下，呈现出极为复杂的粒子循环动态过程，同时又以难以认识和描述的方式密切影响等离子体的行为。为了使得真空室第一壁在等离子体放电过程中尽量少的干扰、影响等离子体的特性和行为，我们必须经常完善地处理第一壁的表面。这种处理包括：烘烤、不同气体的辉光放电清洗、特殊膜层的现场沉积和锻炼放电清洗。 烘烤是非常典型的超高真空处理手段，用加热真空室壁的办法使得分布在真空室壁材料中的气体加快其向表面扩散的速率，同时使得处于壁表面的气体获得更大的脱离表面吸附的能量。尽量高的烘烤温度对于加速以上过程无疑是有益的，但是综合考虑种种因素，我们确定SUNIST装置真空室的烘烤温度不超过150 0C，并初步决定选用居里点在160至200 0C之间的PTC做加热元件。烘烤电源为50周交流电，如需要进行热真空室壁放电的话，在放电时刻应切断烘烤电源。烘烤是一项需要经常进行、也经常与其它清洗手段同时使