第10章_微波与等离子体下的无际合成10.pptVIP

第六章 极端条件下的合成化学（微波与等离子体下的无机合成）;内容梗概;一、微波辐射在无际合成中的应用;引子;;1、微波加热和加速反应机理;;;;;10.1.2 沸石分子的合成 ;1.NaA 沸石的合成;;2.NaX沸石的微波合成;;;10.1.3 沸石分子筛的离子交换;10.1.4 微波辐射法在无机固相反应中的应用; 的制备;10.1.5 在多孔晶体材料上无机盐的高度分散;10.1.6 稀土磷酸盐发光材料的微波合成;2.微波等离子体化学;10.2.1 微波等离子体及其特点; 当n e在109一1015范围内，相应的等离子体振荡频率就落在微波频段内，振荡周期是等离于体电中性条件成立的最小时间尺度，只有等离子体其存在时间τ》τp(或τωp》1)才能成为具备自己特有性质和行为的等离子体，否则仍属于气体。所以所谓等离子体是满足(L》λp， τωp》1)这些条件，在宏观上呈电中性的电离气体。若把微波加到气???物质中，在一定条件下，形成的电离气体(例如电离度＞0.1％)称为微波等离子体。 ;;10.2.2 等离子体中主要基元反应过程;1.电离;（1）电子碰撞电离;由于电离机制的不同，又可将电子碰撞分为如下几种;（2）亚稳态粒子的作用及Penning电离;有亚稳态粒子参与的电离过程也可依不同特点分为以下几种：;;;(3)离子碰撞电离;（4）光电离;2.激发;3.复合过程;（1）三体碰撞复合;(2)辐射复合;（3）正负离子碰撞复合;;4.附着和离脱;;从目前等离子体化学发展水平看，比较有用的等离子体反应主要有以下四类;;;;第④类反应中，固体物质M的表面起催化作用，促进气体分子的离解和复合等等。;10.2.3 获得微波等离子体的方法和装置;;下图是产生微波等离子体的装置的基本框图;下图则是一种微波等离子体辅助CVD反应器，利用此反应器成功地在非常低的基片温度（约100度）下沉积出质量很好的氧化硅膜。稍加修改后，也可用于其他合成化学反应。;10.2.4微波等离子体的应用