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氮化钛基超硬纳米复合工具膜的研究进展 蔡飞，张世宏，李明喜 安徽工业大学材料科学与工程学院，安徽马鞍山，２４３００２ 摘要：刀具涂层技术是一种新型的纳米表面涂层技术。论述了近年来氮化钛基Ａ１ＴｉＮ和ＴｉＡｌＳｉＮ超硬纳米 复合工具膜的研究进展。首先，讨论了工艺参数对单一ＴｉＡｌＮ薄膜的影响，比较了梯度和纳米多层Ａ１ＴｉＮ 薄膜的优点，总结了后处理如退火在调整薄膜应力、结构和性能方面的研究；其次，分析了超硬ＴｉＡｌＳｉＮ 纳米复合膜在ｓｉ元素固溶机制以及多弧离子镀技术制备超品格纳米复合膜方面的最新研究进展。最后，展 望了氮化钛基超硬纳米复合工具膜未来的研究方向。 关键词：工具膜，Ａ１ＴｉＮ和ＴｉＡｌＳｉＮ薄膜，退火，超品格  １引  言  现代化的金属切削加工需求刀具有高切削速度、高进给速度、高可靠性、长寿命、高精 度和良好的切削控制性能。涂层技术是使刀具实现这些优异性能的一种技术。所谓涂层技术 是指在切削刀具，模具表面涂覆上一层硬质薄膜来提高其耐磨性以达到增加其使用寿命的结 果，这种硬质涂层不但具有很高的硬度，而且还有其他一些优越的性能如抗高温氧化性、抗 腐蚀性、低的摩擦系数。这些优点使涂层在很大程度上提高了切削刀具的寿命，降低了维修 费用，减少了因刀具失效所导致的停车时间。而对于一些贵重刀具，由于可以多次涂层，增 加了其重复使用性，降低了使用成本，具有很大的经济效益ｕ。。 目前用的最广泛的是ＴｉＮ涂层，发达国家ＴｉＮ高速钢涂层刀具的使用率超过了高速钢 刀具的５０％。但是传统的ＴｉＮ涂层由于较低的硬度和差的抗氧化性能限制了其在苛刻条件下 的应用旧。。近些年来大量研究致力于ＴｉＮ涂层性能的改进，如加入Ｃ、Ｂ和Ａ１、ｓｉ、Ｃｒ、Ｗ、 Ｖ等元素分别部分取代Ｎ和Ｔｉ原子使其合金化以提高ＴｉＮ涂层的硬度、耐磨损性以及抗氧 化性能。目前国外涂层的结构从单元、多元单涂层向多元多涂层和纳米复合涂层发展，与国 外成熟的涂层技术相比，我国在涂层的理论研究以及技术应用方面仍相对薄弱，因此对纳米 多层膜和复合硬质薄膜涂层的研究，具有十分重要的科学和经济意义。本文从Ａ１ＴｉＮ和 ＴｉＡｌＳｉＮ硬质纳米复合膜介绍了ＴｉＮ基超硬纳米复合工具膜的研究。  ２  Ａ１ＴｉＮ和ＴｉＡｌＳｉＮ硬质薄膜的研究现状  １．２  ＡＩＴｉＮ薄膜的研究现状  自１９８６年，Ｋｎｏｔｅｋ”ｌ等发表了关于ＴｉＡｌＮ涂层以来，人们对其优异的性能表现了极大 的兴趣。过去的二十多几年，大量的研究就ＴｉＡｌＮ薄膜的结构和力学性能开展了大量的研究。 薄膜制各过程中，沉积工艺参数对薄膜结构和性能具有重要的影响。Ｔ．Ｚｈｏｕ。４１等人通 过磁控溅射制备（Ｔｉ，Ａ１）Ｎ薄膜并且研究了氮气分压对其硬度的影响。研究结构发现：薄膜 表现出（１１１）和（２２０）优先取向，且随着氮气分压的增加，（２２０）／（１１１）比值逐渐增加。当比 值最大时，其硬度和弹性模量分别达到４３．４ ＧＰａ和４３０．８ ＧＰａ。他们将这种高硬度值归咎 ２９７ 于薄膜中品粒的细化以及（１１１）向（２２０）的转变。～般来说（１１１）而是立方结构中的密排面， 具有最低的能量，位错在此密排面最容易滑移，而在非密排面的（２２０）面则滑移较难。所以 随着（２２０）峰强度的增加，需要更大的能量使得位错开启，薄膜的硬度增加。 Ｓｈｅｎｇ—Ｓｈｅｎｇ Ｚｈａｏ！副等人通过离子镀技术在２０２４ Ａ１／ＳｉＣｐ基体上沉积成厚达６０ ｕ ｍ的 ＴｉＡＩＮ涂层。他们的研究结果表明涂层的沉积速率随着氮气流量从１００ ｓｃｃｍ增加到２５０ ｓｃｃｍ 时发生下降，同时薄膜与基体的结合强度发生下降，而涂层的硬度则呈现上升的趋势。他们 在沉积过程中通过逐渐改变氮气流量，梯度改变薄膜中薄膜的成分和结构，使得薄膜从基体 到表面的力学性能依次改变，成功沉积制备出厚度高达６０ ｕ Ｉｌｌ的薄膜。 单一的ＴｉＡＩＮ薄膜越来越难满足苛刻的加工条件，大量研究就薄膜的结构进行精细加 工，形成多层结构，其与单一薄膜相比，表现出更优异的加工性能。这种性能的改变得益于 薄膜的多层化，降低了薄膜中的应力，改善了其热稳定性尤其是在高温情况下的硬度。Ｙｉｎ－Ｙｕ Ｃｈａｎｇ等１人研究了（Ｔｉ。，Ａｌ。）Ｎ多层薄膜，他们的研究结果表明薄膜的晶粒尺寸随着Ａｌ含量 的增加而减少，梯度薄膜的硬度比多层薄膜的硬度高，这个主要是因为前着比后者具有更高 的内应力。多层化的Ａ１。。，Ｔｉ。。。Ｎ／ＴｉＮ的界面使得薄膜部分内应力释放，干式铣削试验结果 表明这种具有低的内应力的多层结构在加工时具有更高的稳定性，从而增加了刀具使用寿 命。 Ａ．Ｋｎｕｔｓｓｏｎ…通过离子镀沉积多层Ｔｉｏ∞Ａ