毕业设计（论文）-太阳能电池片湿刻蚀的应用.doc

苏州市职业大学 毕业设计（论文）说明书 设计（论文）题目 太阳能电池片湿刻蚀的应用 系 电子信息工程系 专业班级 08电气2 姓 名 学 号 指导教师 年 月 日  太阳能电池片湿刻蚀的应用 摘要 湿刻就是湿法刻蚀，它是一种刻蚀方法，主要在较为平整的膜面上刻出绒面，从而增加光程，减少光的反射，刻蚀可用稀释的盐酸等湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。Solar cell wet etching application Abstract Wet carved is wet etching, it is a kind of etching method, mainly in the relatively flat membrane surface, thereby increasing suede carving out process, reduce light light reflection, etching available dilute hydrochloric acid etc. Wet etching is will etching materials soaked in a mordant within the corrosion of technology. It is a kind of pure chemical etching, has excellent selectivity, etching the current film will cease, and wont damaged following a layer of film to other materials. Research on various chemicals to the flow the influence of battery piece etching depth. First check all kinds of material, grasps this topic relevant knowledge: by hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sodium hydroxide etc chemicals flow, temperature, humidity and so on the influence of solar cell. Through technology software analysis, optimization of process parameters, obtain optimal parameters. Keyword:wet etching; Corrosion; Flow; Solar battery 目录 摘要 1 目录 3 第一章 前言 5 第二章 湿法刻蚀及成长工艺 8 2.1湿法刻蚀的基本过程 8 2.2 主要的化学反应 8 2.3 湿法刻蚀的生长工艺 8 2.3.1湿法刻蚀的定义 8 2.3.2 湿法刻蚀的原理 8 第三章 刻蚀的应用 10 3.1 湿法刻蚀硅 10 3.2 湿法刻蚀二氧化硅 11 3.3 湿法刻蚀氮化硅 11 3.4 湿法刻蚀铝 12 3.5 图形生成的LIFT－OFF技术 12 3.5.1 Lift-off的原理 12 3.5.2 Lift-off的好处 13 3.5.3 为lift-off而作的模板层 13 3.5.4 lift-off工艺过程 13 第四章 刻蚀的重要参数 15 4.1 刻蚀速率 15 4.2 刻蚀剖面 15 4.3 刻蚀偏差 15 4.4 选择比 15 4.5 均匀性 16 4.6 残留物 16 4.7 聚合物 17 4.8 等离子体诱导损伤 17 4.9 颗粒沾污 17 第五章 湿法刻蚀工艺技术 18 5.1 简述 18 5.2 湿法刻蚀 18 5.3 湿法刻蚀的过程 18 5.4 二氧化硅的湿法刻蚀 18 5.4.1 影响腐蚀质量的因素 19 5.5 硅的刻蚀 19 第六章 刻蚀技术新进展 21 6.1 四甲基氢氧化铵(TMAH)湿法刻蚀 21 6．2 软刻蚀 21