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参加募集　第40回エンジニアリングセラミックスセミナー 「セラミックコーティング技術と産業応用」 －硬質材料から電子材料および半導体製造装置用材料まで－ スパッタリング法や溶射法などのセラミックスのコーティング技術は、古くから切削工具の硬質コーティングや、ガスタービンおよびジェットエンジン用ブレードのサーマルバリアコーティング（TBC）などで盛んに研究され、現在でも深刻なエネルギーおよび環境問題を解決する一つの手段として期待されている。さらに最近では、低温で緻密なセラミックス膜が得られる方法としてエアロゾルデポジション法（AD法）が開発され、電子デバイス用酸化物のコーティングとして応用が進んでいる。また、これらのコーティング技術は、近年発達がめざましい半導体製造装置用部品やエッチング装置などの耐プラズマコーティングとしても注目を集めており、今最も活発な研究分野の一つであると言える。 本年度のセミナーでは、研究機関および企業から講師を招き、様々なセラミックスのコーティング技術およびその応用例を説明していただくと共に、これからの高速化?高密度化?組織制御に対応するためのブレイクスルーについても講演をしていただくことになっております。普段の学会や講演会では、あまり得ることのできないヒントやアイデアを発見できると思います。セラミックス研究分野の方のみならず、多方面から多くの皆様のご参加を期