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表面倾斜对激光三角测量的影响及校正研究 　　摘要： 为了提高激光三角测量系统的精度，减小待测表面倾斜对测量结果的影响，针对具有某种具体表面特性的待测表面，提出了一种表面倾斜校正算法。该算法采用对不同的倾斜角度所产生的偏差与倾斜角度建立一个函数库，对该函数库进行曲线拟合，产生一条标准倾斜角度误差曲线，根据该曲线及待测表面的倾斜角度对测量结果进行校正。实验结果表明：该算法可以将待测表面倾斜引起的测量误差减小到原来的1/5，最终可以将此测量误差控制在±10 μm以内，对不规则表面的测量具有较好的实用价值。 　　关键词： 测量与计量； 激光三角法； 校正算法； 漫反射； 表面倾斜 　　中图分类号： TH 741文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2014.01.003 　　引言 　　激光三角法在现代工业测量领域中具有越来越多的应用，在长度、宽度、厚度、速度及加速度测量中都具有普遍的应用[1]。在激光三角测量系统中，系统都是采用对漫反射光束成像的方法来确定待测表面的距离。漫反射光斑在探测器上成像的位置与漫反射表面的质量有关，如表面粗糙度，表面倾斜角度等，其中表面倾斜角度对成像光斑的位置影响最大。在以往的校正算法模型中，将漫反射光场看成符合朗伯比尔定律的理想光场，由于激光散斑效应的影响，这种模型具有较大的不确定度，测量结果无法精确保证[2