第9章--哈工大-第三版-材料分析测试-周玉.ppt

* 第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 * 第九章 透射电子显微镜 本章主要内容 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 第二节 主要部件的结构与工作原理 第三节 透射电子显微镜分辨率和放大倍数的测定 * 透射电子显微镜的基本组成：电子光学系统、电源与控 制系统和真空系统。电子光学系统通常称为镜筒，其光路原 理与透射式光学显微镜相似， 如图9-1所示 电子光学系统的组成： 照明系统 成像系统 观察记录系统 1-照明源 2-阳极 3-光阑 4-聚光镜 5-样品 6-物镜 7-物镜光阑 8-选区光阑 9-中间镜 10-投影镜 11-荧光屏或底片 图9-1 显微镜光学和光路图 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电镜 透射光镜 * 一、照明系统 (一) 电子枪 电子枪有热发射和场发射2种，热发射电子枪由阴极、栅极和 阳极组成，见图9-2。电子枪的负高压加在栅极上， 阴极和栅 极间有数百伏电位差而构 成自偏压回路 栅极可控制阴极发射电子 的有效区域，自偏压回路 的作用是稳定和调节束流 场发射枪性能优异，具有 束斑尺寸小、亮度高、能 量分散度小等特点 图9-2 电子枪 a) 自偏压回路 b) 等电位面 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 * 一、照明系统 (一) 聚光镜 高性能透射电镜采用双聚光镜系统，见图9-3。第一聚光镜是 强励磁透镜，作用是缩小或调节束斑尺寸， 将电子枪交叉斑 减小10 ~ 50倍；第二聚光镜是弱 励磁透镜，用以调节照明强度 聚光镜的作用是以最小的损失，