扫描电子显微技术与x射线显微分析-厦门大学化学化工学院.pptVIP

三.X射线连续谱： 实际样品内产生的X射线谱是一个连续谱（强度：Icm~iZ[(λ/λmin 1]~iz(E。E)/E) 它带有样品平均原子序数的信息，对样品建立定量分析的某些修正程序很有作用。 四.基质校正： X线强度与元素浓度以复杂的关系依赖于样品成分。试样中元素的浓度可由下式计算：C=C’(F/F ）。F与F 分别为试样与标样的射线强度。 主要组成部分 一.探针形成系统。 二.X射线谱仪。 三.样品台。 四,光学显微镜。 五.扫描系统与真空系 统。 扫描电子显微镜(SEM) Reliability analysis Lab SEM 与 能量 谱仪波长谱仪 连用 定性分析 分析未知样品的第一步是鉴别所含的元素，即定性分析。定性X射线分析既直接又简单。 在进行定性分析时，必须利用几种不同的依据，其中最重要的是每个元素的特征X射线谱峰能量。这些数据有详细的X射线谱线汇编表。 单斜辉石熔融玻璃成分 定量分析 电子探针和扫描电镜利用非破坏性X射线技术可以在块状样品的~1μm3区域内进行定量分析。对薄膜形式的样品和有机材料切片，分析微区大约可减小到块状样品的1/10。 考虑背散射电子的影响引入因子R，每个入射电子产生的元素i的X射线平均数I与n成正比，即I=(常数)CiRρ∫(Q*dX/dE)dE 。 所以标样与试样的X射线