第九章气电式传感器资料.ppt

传感器结构原理与设计 机械工程学院仪器系 李云雷 Tel:2786982 办公室：新实验楼427 第九章 气电式传感器 原理：气动测量 + 气电转换 结构组成： 气动量仪（关键部件：气动测头）＋气电转换部件 气电转换方式：电触式、光电式、电感式、电容式、压阻式 优点：非接触测量，测量精度高，可以进行两个尺寸差值、平均值以及复杂形状综合参数测量。 缺点：需要净化的恒压气源，对稳压气源较难获得；动态响应时间比较长（约0.2～1s），限制了检测速度。 第一节 气动测量的原理 气动测量原理：把被测尺寸量的变化转换为气室中压力的变化或管路中流量的变化。 气动测量分类：压力式气动测量、流量式气动测量。 一、压力式气动测量原理 工作过程： 净化和稳压气体以工作压力Pg送入管路1，通过进气喷嘴2和气室4后，由测量喷嘴5喷入大气。 测量喷嘴与它前面的挡板或工件6之间的间隙变化时，代表了工件尺寸的变化，z越小，气室内压力Pc越大。 气室测量压力计算： 结论： Pc与z2成反比，为非线性系统，测量时应该利用特性曲线中间近似线性的部分； Pc=0.75 Pg的左右范围内变动，线性度较好； d1越大，灵敏度越小，但测量范围大。 第二节 气动测头 测头包括测量喷嘴，就是测量时感受被测几何量变化的机构。 种类：按测量方式不同，分为非接触式和接触式两类；按其结构原理来