薄膜制备与表面分析02精选.ppt

Auger电子能谱(AES)Auger Electron spectroscopy Qing-Yu Zhang State Key Laboratory for Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams AES ?? Auger效应 1925年P.Auger已经在Welson云室内观察到Auger电子径迹，并正确地解释了这种电子的来源。 尽管当时人们已经认识到它可以成为一种成分分析的手段，但直到六十年代中期，随着金属的超高真空系统和高效的微弱信号电子检测系统的发展，才出现了可以用于表面分析的实用Auger电子能谱仪。 AES ?? Auger效应 随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子显微术(SAM), 成为微区分析的有力工具。 电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功能更趋完善。目前， Auger电子能谱已成为许多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析手段之一。 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger效应 AES ?? Auger效应 Auger跃迁 AES ?? Auger效应 电子能级、X射线