FM64001环境因素调查表E01公司能源资源消耗评价法.doc

XX公司环境因素调查表 （能源、资源消耗评价法） 部门：全公司 填表人： 审核: 日期：2009.03.25 No. E01 项次 对象地点 活动/产品/服务 环　境　因　素 N/A/E P/C/F 环境影响 现场管制/监控方式 备注 1 车间 工序全过程 用电 N C 能源消耗 提高利用率 2 车间 清洁 使用无水乙醇 N C 资源消耗 提高利用率 3 车间 清洁 使用离子水 N C 资源消耗 提高利用率 4 扩散设备区 扩散生产 使用抽风 N C 能源消耗 提高利用率 5 扩散设备区 扩散生产 使用冷却水 N C 能源消耗 提高利用率 6 扩散设备区 扩散生产 使用真空 N C 能源消耗 提高利用率 7 扩散设备区 扩散生产 使用N2、O2、H2 N C 资源消耗 提高利用率 8 扩散设备区 扩散生产 使用压缩空气 N C 能源消耗 提高利用率 9 扩散设备区 扩散生产 使用特气 N C 资源消耗 提高利用率 10 扩散设备区 扩散生产 使用掺杂源（B、P等液态源） N C 资源消耗 提高利用率 11 扩散设备区 扩散生产 使用TEOS N C 资源消耗 提高利用率 12 扩散设备区 扩散生产 使用三氯乙烷 N C 资源消耗 提高利用率 13 扩散检验区 检片 真空的使用 N C 能源消耗 提高利用率 14 炉管清洗区 石英清洗 使用压缩空气 N C 资源消耗 提高利用率 15 炉管清洗区 石英清洗 用水 N C 资源消耗 提高利用率 XX公司环境因素调查表 （能源、资源消耗评价法） 项次 对象地点 活动/产品/服务 环　境　因　素 N/A/E P/C/F 环境影响 现场管制/监控方式 备注 16 炉管清洗区 石英清洗 使用化学药品 N C 资源消耗 提高利用率 17 炉管清洗区 石英清洗 N2使用 N C 资源消耗 提高利用率 18 扩散气柜区 特气柜 使用N2 N C 资源消耗 提高利用率 19 扩散气柜区 特气柜 使用抽风 N C 能源消耗 提高利用率 20 车间光刻 光刻设备 用电 N C 能源消耗 提高利用率 21 车间光刻 光刻设备 用压缩空气 N C 能源消耗 提高利用率 22 车间光刻 光刻设备 用氮气 N C 能源消耗 提高利用率 23 制版区 光刻制版 用水 N C 资源消耗 提高利用率 24 注入区 注入 冷却水的使用 N C 能源消耗 提高利用率 25 注入区 注入 电的使用 N C 能源消耗 提高利用率 26 注入区 注入 特气的使用 N C 能源消耗 提高利用率 27 注入区 注入 普通氮气与压缩空气的使用 N C 能源消耗 提高利用率 28 注入区 注入 各种油品的使用 N C 资源消耗 提高利用率 29 注入区 维护 各种润滑油的使用 N C 资源消耗 提高利用率 30 注入区 维护 酒精等有机溶剂使用 N C 资源使用 提高利用率 31 蒸发操作区 蒸发溅射 电的使用 N C 能源消耗 提高利用率 XX公司环境因素调查表 （能源、资源消耗评价法） 项次 对象地点 活动/产品/服务 环　境　因　素 N/A/E P/C/F 环境影响 现场管制/监控方式 备注 32 蒸发操作区 蒸发溅射 冷却水的使用 N C 能源消耗 提高利用率 33 蒸发操作区 蒸发溅射 贵金属的使用 N C 资源使用 提高利用率 34 蒸发溅射区 蒸发溅射 普通氮气与压缩空气的使用 N C 资源使用 提高利用率 35 蒸发溅射 各种油品的使用 N C 资源消耗 提高利用率 36 蒸发操作区 模块清洗 酸的使用 N C 资源使用 提高利用率 37 减薄区 减薄 电的使用 N C 能源消耗 提高利用率 38 减薄区 减薄 冷却水的使用 N C 能源消耗 提高利用率 39 减薄区 背洗擦片 酒精等有机溶剂使用 N C 资源使用 提高利用率 40 背洗擦片 酸的使用 资源使用 N C 资源使用 提高利用率 41 减薄区 抛光 电的使用 N C 能源消耗 提高利用率 42 腐蚀、清洗间 清洗、腐蚀 用电 N C 能源消耗 提高利用率 43 腐蚀、清洗间 清洁 使用无水乙醇 N C 资源消耗 提高利用率 44 腐蚀、清洗间 清洁 使用离子水 N C 资源消耗 提高利用率 45 外延车间 生产过程 用电 N C 能源消耗 提高利用率 46 外延车间 生产过程 用水 N C 资源消耗 提高利用率 47 外延车