- 1、本文档共15页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
南开大学 硅光电子学与储能实验室
Four-Point Probe Operation | 2011
四探针操作说明书
Four-Point Probe Operation
第1章 引言 1
1. 目的 1
2. 应用范围 1
3. 测试设备 1
? 四探针 1
? 数字电压源表 2
第2章 原理简述 3
1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率: 3
2. 薄膜方块电阻 3
第3章 操作方法 5
1. 引言 5
2. 测试线连接方式 5
3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 6
4. 探针接触方式 8
5. 数据测试指南 8
第4章 注意事项 10
附表 I
引言
目的
本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。
应用范围
测量参数:方块电阻,电阻率
测量样品:均匀薄膜,均匀薄片
方块电阻测试范围:0.01?~500M?
电阻率测试范围:10-5??cm~103??cm
样品大小:直径1cm
精度:±5%
测试设备
四探针
生产厂商:
广州四探针有限公司RTS-2型
基本指标:
间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻: ≥1000MΩ;
机械游移率: ≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢材质,探针直径Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
使用环境:
温度::23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射;
基本参数:
Fsp=0.1
探针间距:1.0mm
数字电压源表
生产厂商:
KEITHLEY 2400高压源表
技术参数:
准确度:0.012%
功率:20w
型号:2400
品牌:吉时利
测量范围:可选高电压(1100V)或大电流(3A)源/测量(A)
KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流,输出功率20W.
主要特点及优点:
设计用于高速直流参数测度
2400系列提供宽动态范围:10pA to 10A, 1μV to 1100V, 20W to 1000W
四象限工作
0.012%的精确度,5 12 的分辨率
可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量
在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒
内置快速失败/通过测试比较器
可选接触式检查功能
数字I/O提供快速分选与机械手连接
GPIB, RS-232, 和触发式连接面板
TestPoint and LabVIEW驱动
将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上,在 1、4 探针间通以电流 I(mA),2、3 探针间就产生一定的电压 V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同,可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻:
薄膜(厚度≤4mm)电阻率:
其中:D—样品直径,单位:cm或mm,注意与探针间距S单位一致;
S—平均探针间距,单位:cm或mm,注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值);
W—样品厚度,单位:cm,在F(W/S)中注意与S单位一致;
Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值);
F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时,F(D/S)=4.532,有限直径下的F(D/S)由附表 1查出:
F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S0.4时,F(W/S)=1;W/S0.4时,F(W/S)值由附表 2查出;
R—源表测量电阻值,单位?;
薄膜方块电阻
其中:D—样品直径,单位:cm或mm,注意与探针间距S单位一致;
S—平均探针间距,单位:cm或mm,注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值);
W—样品厚度,单位:cm,在F(W/S)中注意与S单位一致;
Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值);
F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时,F(D/S)=4.532,有限直径下的F(D/S)由附表 1查出:
F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S0.4时,F(W/S)=1;W/S0.4时,F(W/S)值由附表 2查出;
R—源表测量电阻值,单位?;
操作方法
引言
电阻测量采用KEITHLEY 2400高压源表测量,参照4探针测试原理,源表设置应采用4线感应模式(4W AUTO)。具体设置参看KEITHLEY 2400高压源表设置指南。
测试线连接方式
测试线采用4线连接方式。
Figure 31 测试线连接方式
KEITHLEY 2400高压源表设置指南
连接设备数据线,电源,开关。
设备显示如Figure 31所示。
Figure 32 按 CONFIG 键
按 CONFIG 键,设备显示如Figure 32所示。
按 ? 键,设备显示如F
您可能关注的文档
最近下载
- 版四年级道德与法治下册全册表格式教案教学设计.pdf
- ANSI CTA-2034-A-2015 家用扬声器的标准测量方法 Standard Method of Measurement for In-Home Loudspeakers.pdf
- 2024-2025学年小学劳动五年级下册粤教版(主编:徐长发)教学设计合集.docx
- 慢性阻塞性肺疾病培训试卷附答案.doc
- 《PLC技术及应用》课程思政教学案例(一等奖).docx
- 刑罚执行一体化视角下S省监狱警察参与社区矫正的实践与优化路径研究.docx
- T_CRACM 0001—2025(中国人面部皮肤美白状态评价方法).pdf
- 八年级上册英语单词表.pdf
- 第八届全国职工职业技能大赛(网约配送员赛项)必背考试题库资料500题(含答案).pdf
- 2024咖啡行业调研报告.pptx
文档评论(0)