CVD法纳米硅系复合薄膜的微结构、性能及新型无光污染节能镀膜玻璃的研究研究.docVIP

浙江大学硕士学位论文 摘要 本论文全面介绍了纳米材料，特别是纳米镶嵌复合材料的发展概况、特性、 常用的制备方法、常见的几种硅系纳米材料以及有关纳米硅材料的发光，并对新 型无光污染节能镀膜玻璃的研制和发展作了概述。 并使用退火处理方法对该薄膜进行后处理，最终得到?／??疭?：纳米镶嵌复合 薄膜。利用??作为测试手段，系统地研究了退火处理工艺与薄膜微结构的关 ，一 ? ?退火一个小 时以后，薄膜中开始出现大量的纳米晶粒，结晶度提高到?％，晶粒开始长大， 现了两种异常的结构：同心环和空心环。前一种结构主要是由外环、介质以及内 心三个部分组成的。而后一种结构实际上是晶格取向非常好的多晶石墨环。当退 火时间延长到?鲂∈保?∧さ慕峋Ф群???退火一个小时的薄膜相类似，不 过，薄膜中大量存在的是??左右的??壕Я！３?广一 ， 种结构的产生可以用金属诱导的机理来解释。 厂 、 个非常微弱的发光谱带。而退火处理过后，薄膜出现两种光致发光现象，即蓝色 发光和紫外发光，其峰值分别在??????附近，而且随着退火温度的升高 和退火时间的延长，发光谱带的强度逐渐增大，峰形的位置也有不明显的蓝移。 ‘ ’’ 纳米硅的表面态发光模型能较好地解释实验结果。厂百 对复合薄膜的光学性能作了系统研究。首次提出利用退火处理同时实现复合 薄膜的梯度化和微结构改性，从而减小镀膜玻璃的反射率并获得无光污染的新型 ， 节能