鑄锭(自动喷涂)工序作业指导书.docVIP

1 适用范围： 本标准规定了坩埚喷涂工序的具体操作、注意事项、主要的质量控制点以及检验项相关标准。 本标准适用于坩埚喷涂工序培训的依据。 2 引用文件： ZD-IS-007 《铸锭（自动喷涂）工序工艺标准》 3 人员要求 2.1 熟悉设备安全操作规程，正确操作设备。 2.2 严格按工艺文件、技术标准生产，并做好生产记录。 4 岗前培训 4.1 安全防护措施 着装要求：防护服、防尘面具、工作帽、PVC手套、一次性口罩、线手套； 工作时需正确穿戴以上防护工具。 4.2 工艺装备 4.2.1 工装工具：喷涂机器人FS10L、控制器D20、加热器、压力控制柜、压力泵、搅拌器、喷枪、变压器、电子天平、点温计、运输小车、夹子、烧杯、量筒、盒尺、细纱网、百洁布。 4.2.2 材料：坩埚、氮化硅、纯水、压缩空气 5 过程控制要点 严格按坩埚自动喷涂操作要求进行操作。 6 自动喷涂工艺描述： 6.1工艺方法 开机→上料→加热→准备涂料→试喷→喷涂→下料→清理 6.1.1工艺配比 坩埚型号：886mm*886mm*420mm 375 gSi3N4+1600mlDI水 坩埚型号：860mm*860mm*480mm 395 gSi3N4+1600mlDI水 6.2 开机 6.2.1将控制柜上的电源开关打开到“ON”的位置，检查控制柜上的报警“ALARM”指示灯是否亮，如果 亮着，则点击“RESET”按钮复位。 6.2..2检查示教器上的急停开关处于未动作的位置，功能开关处于“OFF”位置。 6.2.3检查控制柜上的急停开关处于未动作位置，功能开关处于“RUN”的位置，钥匙开关处于“REPEAT” 位置。 6.2.4打开控制柜上“MOTOR”和“CYCLE”按钮，机器人准备完毕。 6.3上料 6.3.1坩埚领用 领用坩埚前必须佩戴PVC手套或线手套。 6.2.2开箱前检验 打开外包装前检查防震标识牌是否变红，箱体有无破损或变形。如果防震标识牌变红或箱体破损、变形，先不要打开包装，通知工艺技术员予以确认，工艺技术员通知相关质检员或厂家人员检验后决定处理结果。如图所示。 6.3.3外形尺寸检验 打开坩埚包装箱后使用盒尺对坩埚进行测量： 坩埚型号 高度 外径大小 侧壁厚度 底壁厚度 720*720*420 420±5mm 720±6mm 15±3mm 20±2mm 886*886*420 420±5mm 880±7mm 19±4mm 21±3mm 860*860*480 480±5mm 880±7mm 19±4mm 21.5±3.5mm 6.3.4内、外表面质量检验 坩埚内外表面应洁净无污渍、无明显修补痕迹、表面没有结块和波纹，无大的气孔，凹凸起伏小于2mm （顶部20mm除外）。 6.3.5重点对坩埚可能存在的裂纹进行检验，目视坩埚内外表面是否存在裂纹；用手轻击坩埚侧壁，听声音是否有异常，无裂纹坩埚声音清脆，余振时间较长，有裂纹的坩埚声音沉闷，余振时间较短。常熟华融、苏州维苏威等厂家的坩埚必须使用高亮光检验，坩埚检验合格的直接使用，发现不合格坩埚后要首先通知工艺技术员进行确认，然后放回原包装箱,标明不合格原因，等待质检员专检确认后处理。 注意事项 1不能用手直接接触坩埚，防止手上的油脂、盐分等污染坩埚。 2坩埚是脆性材料，运输、操作过程中严禁磕碰。 6.3.6确认墙上的压缩空气开关处于“OFF”的位置（每台加热器有对应的压缩空气开关） 6.37将加热器的定位销子打开，把加热器旋转至准备位，将定位销子插好，避免在上坩埚过程中出现晃动， 发生危险。 6.3.8将准备好的坩埚放入加热器中，此过程由喷涂工序员工完成，放好后，确认坩埚底面与加热器底面贴 实，坩埚边缘露出加热器边缘不超过5cm。 6.3.9将墙上的对应加热器的压缩空气开关打开，待加热板将坩埚压实以后，确认坩埚朝下的一面与加热器 之间没有较大的缝隙。如果缝隙过大，则需要将坩埚换面使用，保证加热均匀。 6.4加热 6.4.1打开旋转加热器后侧的加热开关。 6.4.2用百洁布擦拭坩埚内壁，将坩埚内部的杂质尽可能的清理干净。再用压缩空气将附着的杂质都吹扫干 净，坩埚准备完毕。 6.4.3将定位销子打开，把旋转烘箱转至工作位，将定位销子插好。 6.4.4当坩埚温度达到50-80摄氏度时(日本氮化硅）、70-100摄氏度时(德国氮化硅或混合氮化硅），可以开 始喷涂。 6.5准备涂料 6.5.1将研磨好的氮化硅，按工艺配比称量三个坩埚所用的重量，待用。 6.5.2量取规定量的纯水，将纯水倒入搅拌缸内，打开搅拌机的开关，调节转速至较慢的位置。 6.5.3用汤匙