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线阵CCD精密尺寸测量系统的设计与研究 　　摘 要 本文设计并制作一种非接触式的光学精密尺寸测量系统。系统采用TCD1501D 线阵CCD 作为测量传感器，使用FPGA产生相应时序驱动CCD，STM32控制器通过数据采集和处理来实现高精度的实时测量。系统测试表明该CCD测量系统能实现微米到厘米量级尺寸的测量，测量的精度达微米级。该系统可以广泛用于各类较小尺寸的精密测量。 　　【关键词】尺寸测量 线阵CCD STM32 　　传统的尺寸测量传统仪器如游标卡尺、螺旋测微器等在易碎、易形变的物体测量中具有局限性，且精度不高。基于线阵电荷耦合器件（Charge Coupled Device， CCD）的尺寸测量具有精度高、非接触测量、容易与电子技术结合、结构紧凑等优点，是一种应用广泛的新型测量系统。本文设计并制作一种非接触式的光学精密尺寸测量系统，该系统采用CCD作为测量传感器，用STM32微处理器采集和处理数据实现非接触式实时测量。系统硬件包括光学系统、CCD及其驱动、数据采集转换、微处理器系统等电路；系统软件包括CCD驱动程序、主控程序，在主控程序中采用微分边缘检测算法对CCD信号进行边缘特征分界点的处理。系统能对软线、铜柱等实物尺寸进行精度为微米量级的测量。 　　1 测量原理和系统 　　系统利用投影法基本原理进行尺寸测量，图1给出了系统的原理框图。 　　532nm的绿激光经过光学系统的准直扩束后形成平行光，照射到待测物体上，产生与物体尺寸相等的挡光区，再经过一个望远镜系统入射到线阵 CCD 上，挡光区尺寸与CCD阴影区尺寸成比例，该比例由望远镜系统的放大倍数决定，从而通过 CCD 输出波形可以得到物体尺寸大小。图1中，若已知线阵CCD像素间距为x（为光敏面的有效尺寸与像素之比），经二值化后得到被物体挡光后在CCD上的阴影区像素个数为n，CCD前的望远镜系统中两凸透镜焦距分别为f1和f2，则被测物体的实际尺寸D为 　　（1） 　　系统的结构如图2所示。测量系统由光学系统、线阵CCD及其驱动电路、信号预处理电路、STM32微处理器及其显示电路组成。光学系统主要包括激光器的准直、扩束以及CCD前的接收光学镜头；线阵CCD及其驱动包括CCD和CCD的FPGA驱动电路；信号预处理电路为线阵CCD得到的测量信号进行差分放大；微处理器采用STM32，通过微分边缘检测算法实现边缘特征点提取并将测量结果在LCD上显示。 　　2 系统硬件电路设计 　　2.1 主控制芯片电路 　　控制系统采用意法半导体公司生产的STM32F103RCT6微处理器作为主控芯片，该处理器是32位ARM CortexTM-M3 CPU，处理器速度达到72MHz，处理速度快，为系统的实时测量提供了保障。程序闪存存储容量达256Kbyte，SRAM存储容量为48Kbyte，可满足数据和程序存储。 　　2.2 CCD及其FPGA驱动电路 　　线阵CCD采用东芝公司生产的TCD1501D芯片，该CCD拥有5000个有效像素，相邻像素之间的间距为7μm，光敏面的总长为35mm。该CCD需要6路时序信号，即转移脉冲SH，复位脉冲，一相和二相电荷转移脉冲Φ1E和Φ2E，采样和保持脉冲以及钳位脉冲。为了保证线阵CCD稳定可靠的工作，必须设计出符合CCD正常工作所需要的驱动脉冲和控制电路。我们采用Altera公司的 EP2C5T144C8N这个FPGA，EP2C8T144C8N属于Altera Cyclone II系列，采用TQFP即薄塑封四角扁平封装，共有144引脚，拥有较充裕的片内资源和I/O 口，它具有8256个逻辑单元，36个RAM块，165888个RAM比特数，18个嵌入式乘法器，2个锁相环PLL。其配置方式多样灵活，有主动配置方式、被动配置方式和JTAG配置方式。AD、DA芯片选择要求是8位，转换速率达到30MHz左右，能够处理和产生至少1MHz的信号，能够使用最少的模拟变换电路使输入输出范围在0～5V之间，数字信号电平能与FPGA芯片相匹配。FPGA的程序闪存存储芯片采用EPCS4N。 　　2.3 信号预处理电路 　　CCD输出的视频信号经过AD8027实现轨到轨的差分放大，差分放大电路如图3所示。图中OS为CCD输出视频信号，DOS为输出补偿信号，OS_OUT为差分放大输出信号。在图3中，CCD差分放大输出信号OS_OUT等于OS和DOS之差，这可以消除由于CCD在曝光积分时间和转移过程中带来的噪声。 　　经过差分放大、去噪的CCD信号送入图4所示的模数转换电路。在模数转换器TCL5510A转换下，将输出的CCD模拟信号转换为8位的数字信号，模数转换所需的时钟信号由FPGA产生。数字信号经STM32数字信号处理，利用边缘检测算法得到边缘