硬质及超硬涂层的研究现状及发展趋势.docx

硬质及超硬涂层的研究现状及发展趋势综述姓名：马中红 学号：139024220摘要：随着现代科学技术的不断进步，普通硬质涂层和超硬涂层有了显著的发展，部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石（DLC）、c BN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势，并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。关键词：硬质涂层；超硬涂层；应用前景；研究进展Abstract：As the advancements of modern science and technology，the conventional hard and superhard coatings have achieved remarkable development．Indeed，partial coatings even have been used in some filed．The performance，applications，preparation technique and development tendency of the conventional hard coatings of nitrides，carbides，oxidates and borides have been introduced mainly，as well as superhard coatings of diamond，DLC，c BN，nano multilayer and composite coatings．Moreover，the existing problems regarding to performanceimprovement and feasible development trend henceforth of the partial common coatings was pointed out．Key words： hard coating； superhard coating； application prospect； research progress1 引言硬质涂层是进行材料表面强化、发挥材料潜力提高生产效率的有效途径，它是表面涂层的一种，是指通过物理或化学的方法在基底的表面沉积的厚度在微米量级，显微硬度大于某一特定值（HV=20GPa）的表面涂层。硬质涂层按硬度可以分为两种：一种是维氏硬度介于20GPa～40GPa的普通硬质涂层；另外一种是维氏硬度达到40GPa以上的超硬涂层。硬质涂层已经被广泛应用于切削业、模具工业、地质钻探、纺织工业、汽车制造、机械制造及航空航天等领域，并发挥着越来越重要的作用。其中，硬质涂层在切削业的应用，不仅可以加工普通切削工具像刀具、钻头、模具等难以加工的材料，而且可以提高切削的精准度，发挥出超硬、强韧、耐磨、自润滑的优势，因此被认为是切削史上的一次革命。总之，硬质涂层的应用可以有效改善工件的性能，提高工作效率，延长工件的使用寿命，拓宽工件的应用范围。本文从硬质涂层的种类出发，介绍了普通硬质涂层和超硬涂层的分类，超硬涂层的超硬机理，以及未来的发展趋势。2普通硬质涂层普通硬质涂层大多是一些过渡族金属与非金属构成的化合物、金属间化合物等。这些化合物一般靠金属键、共价键、离子键或离子键和金属键的混合键键合而成，具有熔点高、硬度大的特征。主要可以分为以下类型。2．1氮化物涂层[1] Ti N涂层具有硬度高、韧性好化学稳定性好和色泽华丽等优点，已在工具行业上成功应用，曾被誉为“工具上的一次革命”。Ti N是最早产业化并广泛应用的硬质涂层。对于氮化物而言，几乎所有过渡族金属与氮原子组成的化合物都形成简单结构，Ti N、Zr N、Hf N、VN、Cr N及W，N、Mo，N具有B1～Na Cl型面心立方结构。Nb N、Ta N、W N、Mo N具有六角结构。在二元氮化物涂层的基础上，本着多元化的思路，人们又制备了多元氮化物涂层，比如Ti～Al～N涂层，由于Al的加入涂层的硬度和抗氧化性都有了很大的提高，并被广泛应用在工业领域。氮化物涂层的制备方法主要包括离子镀（电弧离子镀、空心阴极离子镀）、磁控溅射和 CVD等[2]。其中CVD技术的成本较低，且制备的涂层能显著延长刀具的使用寿命，但是普通 CVD技术的制备温度很高，通常在900-1000℃，超过了绝大数常用刀具材料的热处理温度，因而可用CVD技术来制备涂层的刀具材料极为有限（实际上只有硬质合金满足条件）。2．2碳化物涂层碳化物涂层硬度比同种元素氮化物涂层的硬度要大，这是由于碳化物具有更加明显的共价键所致，但是韧性差。最常用的过渡金属碳化物涂层有Ti C、Zr