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一种新型对称旋转梳齿微驱动器木
万江文岳宁煜冯仁剑
北京邮电大学北京 100876
摘要：针对一般旋转梳齿微驱动器旋转角度小、驱动电压大以及响应非线性化的缺点，分析得出影
响微驱动器性能的主要原因是存在横向位移，并且设计了一种具有对称结构的旋转梳齿驱动器，消除了
横向位移，较大幅度地提高了驱动器性能．
对称旋转梳齿微驱动器
关键词：MEMS旋转梳齿微驱动器
1．前言
MEMS光开关既具有传统机械光开关的介入损耗低、隔离度高等优点，同时体积小、易于集成，成为大
容量交换光网络开关发展的主流方向。在MEMS光开关中最常用的两种驱动结构是平板电极结构【1】【2】和梳齿
结构【3】【41。平板电极结构简单，最早被应用于通信领域，但旋转角度小、驱动电压较大；梳齿结构相对复杂，
但旋转角度比平板电极结构大，是目前较为常用的一种结构。获得更大的旋转角度和降低驱动电压是目前研
究者的努力方向，本文研究了影响微驱动器性能的因素，针对现有旋转梳齿驱动结构的缺点，设计了一种新
型的对称旋转梳齿驱动器。
2．数学分析
现有典型旋转梳齿驱动器结构如图1所示。图2表示旋转梳齿驱动器的初始状态，图3表示旋转梳齿驱
动器的旋转状态。
图l 典型旋转梳齿驱动微镜结构示意图
+基金项目：教育部新世纪优秀人才支持计划资助(教技函12005】35号)：教育部优秀青年教师资助计划项目(教人司2002．350)
21l
图2初始状态时，梳齿驱动器示意图
幽3旋转状态时，梳齿驱动器示意图
利用能量分析法对图1所示结构进行分析，系统的机电响应可由下面总的能量公式推导：
罗2‰一UE (1)
式中：吵为结构总能量，UM为扭转梁的回复能量，UE为静电能量。
扭转粱的回复能量和静电能量可由下面的公式得出：
‰=≯+扣2+丢拶 (2)
魄=j1 C：(石，夕，口)(珞+珞)2 (3)
C。(工，y，口)(K—K)2+芝1
式中：kx为弹性扭转梁x方向弹性系数，ky为弹性扭转梁y方向弹性系数，如为弹性扭转梁旋转弹性系数，
cI(五y，0)、q(x，Y，口)为结构电容，珞为活动梳齿上所加的电压，K为固定梳齿上所加的电压。
若忽略边缘效应，结构电容可表示为：
4． f：1，2 (4)、’
‘c-：2N。eo
口
式中：Ⅳ为活动梳齿数，go为真空介电常数，g为固定梳齿与活动梳齿间隙，4为交叠区面积。
弹性扭转梁石、Y方向弹性系数为：
． E 263f
气。瓦F可 (5)
七，二￡簪 (6)
式中：E为弹性模量，y为泊松比，b为梁的宽度，f为固定(活动)梳齿高度，￡为弹性梁的长度。
弹性扭转梁的旋转弹性系数为：
％：2半 (7)
212
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