真空度对阴极材料微结构影响的电子显微分析.pdfVIP

真空度对阴极材料微结构影响的电子显微分析 张德政包生祥杜之波 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都610054) 摘要：针对阴极失效影响因素中的真空度问题，利用扫描电子显微镜以及能谱仪作 为研究手段，分析对比了未老炼以及在不同真空条件下老炼的阴极的微观结构以及成分 差异，结果表明，真空度降低，阴极中发射物质将与空气中的水汽以及氧反应，导致微观 结构发生变化，’这对于行波管的封装可靠性提出了较高要求。 关键词：阴极；微观结构；电子显微分析；真空度 引言 绵体(即钨胚)，再进行机械加工，使钨海 绵体符合阴极的形状尺寸要求。然后筛选 行波管广泛地应用于雷达、导航和通 孑L隙度在20％一25％的海绵体。高温下，在 信等国防工程领域。阴极是行波管的心 氢气炉中将添加Sc20，质量比为5％的铝 脏，其性能的好坏对行波管的稳定可靠性 工作有着重要的影响，而在阴极的失效影 渍人海绵体的孔隙内即成。浸渍好的阴极 响因素中，真空度是一个重要的影响因 需要在优于5×10’5Pa的高真空下进行热 素。目前的文献报道主要是从宏观角度来 激活。将阴极温度升高到1200oC，老炼10 分析行波管的可靠性，建立失效模型或者 分钟。将新制成未老炼的阴极编号为A，经 是从阴极材料本身来研究其发射性能，如 过老炼后装管测试。将装入气压为 文献【1，2】对行波管的可靠性进行了探讨， 10。4—10一Spa下测试的阴极编号为B，将装入气 文献13】对真空残气对阴极的发射性能进 压为10-210-3Pa下测试的阴极编号为C。 行了研究。本工作从微观角度对真空度的 影响的机理【4～6]进行探讨，可以做为从宏 2微观分析 观上提高阴极性能以及行波管可靠性的指 将上述工艺过程制备的钡钨阴极进行 导。 筛选，将未老炼的阴极A进行SEM观察， 1实验 如图l所示。老炼后的阴极经过装管，在不 同气压条件下进行阴极发射性能测试。测 2．1试剂及仪器 试结果表明B样品的发射性能优于c，且 试剂：钨粉，添加Sc203质量比为5％ C的发射电流逐渐降低。 的铝酸盐 测试完成后，开管对阴极表面的微观结构 分析仪器：13本电子JOEL一6490LV扫描 进行SEM观察。并对测试过的阴极B和阴 GENEsIs2000xMS 电子显微镜；美国EDAX 极c不同区域进行EDS分析，能谱仪工作 型X射线能谱仪(EDS)。 2．2样品制备 及EDS的结果如图2、3以及图4所示。分 首先把制备好的钨粉压制烧结成钨海 析各不同区域的成分如表l所示。 作者简介：张德政(1984一)，男，硕士研究生研究方向i电子材料与元器件的失效分析 一1