二、专家推荐意见.pdfVIP

一、项目基本情况 项目名称 MEMS 气象传感器设计与制造关键技术及应用 黄庆安(东南大学)，周再发(东南大学) ，秦明(东南大学) ，李伟华(东南大学)， 主要完成人 黄见秋(东南大学)，夏长奉(无锡华润上华半导体有限公司) 推荐专家 尤政（清华大学），郝跃（西安电子科技大学），姜杰（中国航天科技集团公司） 二、专家推荐意见 专家姓名：尤政；工作单位：清华大学；职称：教授；学科专业：仪器科学与技术 推荐意见：该项目针对我国气象监测与预警重大需求，采用 MEMS 技术研究与开发气象传感器，解决了 MEMS 风速风向传感器、气压传感器、湿度传感器设计与制造关键技术并得到广泛应用，取得主要创新包 括：1. 发明了风速风向传感器深槽隔热结构与陶瓷圆片级封装技术，提出了温度自平衡测控方法；发明了 非真空环境下导电薄膜热学特性测试技术，实现了热导率、塞贝克系数在线测试。2. 发明了基于面积变化 和介电伸缩效应的电容式气压传感器，简化了制造工艺流程，提出了二氧化硅介电伸缩系数与多层薄膜力 学参数测试方法、硅复杂晶面元胞分类方法，实现了生产线在线监控并优化设计了气压传感器。3. 发明了 湿度传感器片上集成多晶硅加热电阻结构，缩短了湿度传感器的脱附时间；发明了氮化硅包覆铝电极的结 构，防止了聚酰亚胺吸水而腐蚀铝电极；提出了湿度传感器电容分压电路结构。该项目已获中国发明专利 授权74 项、美国专利1 项、软件著作权4 项，参编国家标准2 部；撰写英文丛书2 章、中文专著2 本； 发表 SCI 收录论文53 篇；整体技术国际先进、部分技术指标国际领先。该项目设计与制造关键技术已在 我国生产线应用，气象传感器及系统批量生产，产品广泛应用于高速公路、船舶航行等气象检测，促进了 气象传感器及相关行业技术进步，经济社会效益显著。推荐该项目为国家技术发明奖二等奖。 专家姓名：郝跃；工作单位：西安电子科技大学；职称：教授；学科专业：电子科学与技术 推荐意见：MEMS 是集成电路发展的主流方向之一，有极强的应用渗透力，已在汽车、电子消费品等领域 得到广泛应用。气象传感器是MEMS 技术在环境检测领域的主要应用，而MEMS 风速风向、气压和湿度 传感器长期野外工作，研发这些传感器技术难度大、复杂性高，该项目组经过 20 年攻关，从应用基础研 究、关键技术研究再到产品开发，取得技术发明有：1. 提出了风速风向传感器隔热结构与陶瓷圆片级封装 技术、温度自平衡测控方法，实现60m/s 量程；发明了非真空环境下导电薄膜热学特性测试技术，解决了 热导率、塞贝克系数在线测试关键问题。2.提出了多层膜结构电容式气压传感器，简化了制造工艺、提高 了传感器线性度；发明了二氧化硅介电伸缩系数测试方法与多层薄膜力学参数测试方法；提出了硅复杂晶 面元胞分类方法，发明了腐蚀深度在线检测方法，实现了生产线在线监控。3. 发明了集成多晶硅加热器、 氮化硅包覆铝电极结构的湿度传感器，提高了湿度传感器性能。该项目已获授权中国发明专利 74 项、美 国专利1 项，还参与制订了国家标准2 部；项目组发表英文丛书2 章、中文专著2 本、SCI 收录论文53 篇。该项目技术先进，技术负责人在国内外会议多次应邀报告、并被选为 IEEE Fellow 。技术成果已应用 于我国大型企业生产线，合作企业气象传感器实现产业化，产品广泛应用于高速公路以及相关重大科学工 程，推动了我国 MEMS 气象传感器科技进步和相关行业发展，经济社会效益显著。推荐该项目为国家技 术发明奖二等奖。 专家姓名：姜杰；工作单位：中国航天科技集团公司；职称：研究员；学科专业：导航、制导与控制 推荐意见：气象传感器在高速公路、船舶航行等领域有广泛应用。气象监测系统整机性能依赖于核心气象 传感器，该项目在国家自然科学基金和国家863 计划等支持下，采用MEMS 技术研究与开发气象传感器， 解决了 MEMS 风速风向传感器、气压传感器、湿度传感器设计与制造关键技术并得到应用，取得的主要 技术发明如下：1. 针对风速风向传感器量程小、环境影响等技术问题，发明了深槽隔热结构、陶瓷圆片级 封装技术、温度自平衡测控方法；提出了工艺线导电薄膜热学特性在线测试技术。2. 针对电容式气压传感 器线性度差、制造工艺复杂等技术问题，提出了基于面积变化