基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描.pdfVIP

第 22 卷第 3 期 2014 年 3 月 文章编号 1004-924X( 20 14) 03-0656-07 光学精密工程 Optics and Precision Engineering Vol. 22 No.3 Mar.2014 基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描 黄强先\尤焕杰，袁丹，赵 阳，胡小娟 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽合肥 230009) 摘要:利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性，提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态 AFM 来实现快速扫描的方法，并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的 AFM。介绍了高阶谐振 AFM 系统的基本结构和工 作原理，从理论上证明了利用硅悬臂梁高阶谐振特性实现快速扫描的可行性。以自制的 AFM 为研究对象，分析了影 响动态 AFM 扫描速度的主要因素，对系统各模块的响应时间进行了分析、测试，并通过实验证明了 AFM 在二阶谐振 模态下的稳定时间明显小于一阶谐振模态下的稳定时间。最后，分别用一阶、二阶谐振模态对光栅试样在同一区域的 表面形貌进行了扫描测试，测试数据表明:在相同条件下. AFM 的扫描速度在二阶谐振模态下约是一阶模态下的 3. 3 倍。理论分析和实验结果证明了利用高阶谐振探针提高 AFM 扫描速度的可行性和有效性。 关 键 词:原子力显微镜(AFM) ;硅悬臂梁;高阶