062透射电子显微镜汇编.ppt

材料现代研究方法(7) 第一节 透射电子显微镜 1.1 工作原理 1.2 电子透镜（使电子束聚焦成象的装置） (1) 电子在静电场中的运动 (2) 静电透镜 (3) 磁透镜 (4)电磁透镜成像 1.3 电磁透镜的像差 (1) 球 差 (2) 像 散 (3) 色 差 理论分辨距离 1.4 场深和焦深 第二节 透射电镜的结构 2.1 照明系统 电 子 枪 灯 丝 聚光镜 从聚光镜到物镜 2.2 成像系统 物 镜 中 间 镜 投 影 镜 三级成像放大 观察记录系统 2.3 真空系统 电气系统 2.4 主要附件 样品台 光 阑 聚光镜光阑 物镜光阑 选区光阑 透射电镜的功能及发展 功能的扩展 分析型透射电子显微镜 高分辨透射电子显微镜 计算机技术的应用 总 结 电子枪： 发射电子 （负高压） （1）照明系统 聚光镜(2个)：会聚电子束，2－10 um 物镜： 强， Mo=200 X （2） 成象系统 三级透镜 中间镜：弱，Mi＝0-20 X 投影镜：强，Mp＝100 X M＝Mo?Mi?Mp， 对一般电镜：M＝10-20 万倍 对有2个中间镜和2个投影镜，M＝50-80 万倍 （3）记录系统： 荧光屏、 照相机 （4）真空系统： 真空度：10－7 Torr （5）控制系统： 聚焦，放大，明、暗场象切换等 有图是电子光学系统的组成部分示意图。由图可见透射电镜电子光学系统是一种积木式结构， 上面是照明系统、 中间是成像系统、 下面是观察与记录系统。 （1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V 或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是 阳极接地，阴极带有负高压。 （3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的 亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 （4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用， 电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。 聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和 再一次将发散的电子会聚起来的作用。 阴极（接 负高压） 控制极（比阴极 负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 照明部分示意图 电子枪是透射电子显微镜的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪，它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成， 图5-13（a）为电子枪的自偏压回路，自偏压回路可以起到限制和稳定束流的作用。 图5-13（b）是电子枪结构原理图。在阴极和阳极之间的某一地点，电子束会集成一个交叉点，这就是通常所说的电子源。交叉点处电子束直径约几十个微米。 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统，如图5-14所示。第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 （1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过 试样台承载试样，移动试样。 （2）物镜：电镜的最关键的部分，其作用是将来自试样不同点 同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构 信息的散射花样或衍射花样；将来自试样同一点的不同方向的弹性 散射束会聚于其象平面上，构成与试样组织相对应的显微象。透射 电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。 物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最佳分辨本 领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。 为了减小物镜的球差和提高象的衬度，在物镜极靴进口表面和 物镜后焦面上还各放一个光阑，物镜光阑（防止物镜污染）和衬度 光阑（提高衬度） 在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下 物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透 镜是为了进一步改善场对称性而加入的。 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决