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《半导体光电》2005 年 6 月第 26 卷第 3 期 闫金良： 微机械连续薄膜变形反射镜 三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三三 光电器件 微机械连续薄膜变形反射镜 闫金良 （烟台师范学院 物理系，山东 烟台 264025） 摘 要： 建立了微机械连续薄膜变形反射镜的静电力驱动理论模型，推导出微机械连续薄膜 变形反射镜的变形位移和驱动电压的关系表达式，利用该公式、静电力表达式和弹性支撑的回复力 分析了变形镜的稳定工作驱动、不稳定工作驱动和最大变形位移，讨论了变形镜的结构参数对变形 位移的影响。所得结果对于设计微机械连续薄膜变形反射镜具有重要意义。 关键词： 大气光学；薄膜变形镜；微机械；静电力驱动 中图分类号：T~703. 8 文献标识码：A 文章编号：1001 - 5868（2005）03 - 0187 - 03 Micromachined Continuous Membrane Deformable Mirrors YAN Jin-iiang （Department of Physics，Yantai Normal University，Yantai 264025，CHN） Abstract： A theoreticai modei is deveioped for eiectrostaticaiiy controiied micromachined continuous membrane deformabie mirrors. Anaiytic expressions of membrane defiection versus appiied voitage are derived from this simpie modei. By using these formuias，eiectrostatic force and mechanicai force，the stabie actuation，snap-through instabiiity and the maximum of membrane defiection are anaiyzed in detaii. The infiuence of deformabie mirror s structure parameters on defiection is discussed. The resuits are very usefui for the fabrication of eiectrostaticaiiy actuated membrane adaptive mirrors. Key words： atmosphere optics； membrane deformabie mirror； micromachine； eiectrostatic actuation 1 引言 术已经严重限制变形镜的应用与发展。近年来，由 于甚大规模集成技术和微加工技术的发展，使微机 变形镜作为一种常用的波前校正器在自适应光 械薄膜变形镜在低成本、小型自适应光学系统的应 学系统中以及空间无线天线中都是必不可少的重要 用成为可能［3］。微机械薄膜变形反射镜具有体积 ［ ］ 部件 1 ，大部分的应用都要求变形镜的体积小、重 小、成本低、能耗低、响应快及集成度高等传统自适 量轻、能耗低、成本低、响应快和高集成度，而现有技